설치 보고서

04-10-2018

ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-MB1000

MB1000

P28

ZEISS

SIGMA 300VP

DONGJI UNIV

(DONGJI UNIV (MB1000_P28 Set up))

Target equipment

Target equipment	ZEISS- SIGMA 300VP
Place of installation	DONGJI UNIV, 1FLOOR
Uniqueness	Good Performance
END USER	DONGJI UNIV
Date of business trip : 18.03.30
Date of business trip : 18.03.30
Business traveler: Choi, HyoungMun
Date Created : 18.04.10

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 일자

Measurement date: 2018.03.30 (Friday), Rater: Daeil System, Manager Choi , Hyoung Moon

측정 장소

Place of measurement : 1st Floor, DONGJI UNIV

Equipment Model

Equipment Model: ZEISS- SIGMA 300VP

측정 조건 및 결과

N/A

측정 결과 요약

Test Condition	VC-Class Z	VC-Class X	VC-Class Y
Floor	E	E	E
Above Active	G	G	G

Good omnidirectional performance and attached VC-Class graph.

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis - internal program

이미지 1 · ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

X axis - internal program

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Y axis - internal program

이미지 3 · ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Z axis - octave band result

이미지 4 · ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

X axis - octave band result

이미지 5 · ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

Y axis - octave band result

이미지 6 · ZEISS SIGMA 300VP DVIA-MB1000(MB1000 P28) 2차 점검 보고서 — 2018.04.10

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 분명히 진동을 느낄 수 있는 수준. 작업장 등 비민감 구역에 적합합니다.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 진동을 느낄 수 있는 수준. 사무실 등 비민감 구역에 적합합니다.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	사람이 거의 느끼지 못하는 수준. 대부분의 수면 공간에 적합합니다.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않습니다. 수술실, 100배 현미경 등에 적합합니다.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스 등에 적합합니다.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 라인 폭의 검사·리소그래피 장비에 적합합니다.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학현미경, 1μm 라인 폭 리소그래피 장비에 적합합니다.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고난도 장비에 적합합니다.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용입니다.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용이며 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용이며 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~G는 1–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 값입니다.

2. Detail size는 반도체 제조의 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 가리킵니다.

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