설치 보고서
DVIA-M Series
12-04-2024
Seohan Technology Research Institute JEOL JSM-IT500 DVIA-M1000 Installation Report — 2024.12.04
DVIA-M Series
Installation Report
Seohan Technology Research Institute
JEOL
JSM-IT500
SEM
DVIA-M1000
171009R1
171009R2
목차
고객사
서한기술연구소
작성자
엔지니어: 이채원
측정 날짜: 24.12.04
보고서 작성일: 24.12.05
개요
서한기술연구소 3층 재료시험실로 이전 설치된 DVIA-M1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 장비 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-M1000
시리얼 넘버: 171009R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2024년 12월 04일
설치 장소
서한기술연구소 3층 재료시험실
장비 상태
장비 설치 및 IDLE
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: SEM
Model: JSM-IT500
진동 측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
2um (PkPk)
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동스펙 | 방향 | 측정값 (PkPk) Floor | 측정값 (PkPk) DVIA-M1000 | 결과 Floor | 결과 DVIA-M1000 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 서한기술연구소 3층 재료시험실 | 장비 설치 및 IDLE | 2um (PkPk) | Vertical | 0.48 um @ 9.38 Hz | 0.043 um @ 9.38 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | 1.10 um @ 1.88 Hz | 0.077 um @ 1.88 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | 2.50 um @ 1.69 Hz | 0.3 um @ 1.69 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비 사진
15. 참고자료
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 상세 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-04-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Seohan Technology Research Institute
JEOL
JSM-IT500
SEM
DVIA-M1000
171009R1
171009R2
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