설치 보고서
DVIA-M Series
01-02-2018
Seohan Technology Research Institute JEOL JSM-IT500 DVIA-MB1000 (P54) Installation Report — 2018.01.02
DVIA-M Series
Installation Report
Seohan Technology Research Institute
JEOL
JSM-IT500
DVIA-MB1000
MB1000
P54
목차
서한기술연구소(MB1000_P54 Set_Up)
타겟 장비 사진
| Target equipment | JEOL - JSM-IT500 |
|---|---|
| Place of installation | 서한기술연구소 3층 분석실 |
| Remark | 제진대 성능 양호 |
| END USER | 서한기술연구소 |
| Operator: Choi, Hyoung Mun | Date of business trip : 18.01.02 |
| Date of setup : 2018.01.02 | |
| Date of reporting : 18.01.03 |
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일
측정일: 2018.01.02 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장
Operator
Operator: Daeil Systems, Manager Choi, Hyoung Mun
측정장소
측정장소 : 서한기술연구소 분석실 3층
Equipment Model
장비 모델 : JEOL - JSM-IT500
측정 조건 및 결과
N/A
측정결과 요약
| Test Condition | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | B | C | D |
| 제진대 상판 | E | G | G |
전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.
측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.
주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.
이미지 측정시 고객 성능 만족함.
MB1000 internal program performance measurement result
Z axis - internal program
X axis - internal program
Y axis - internal program
Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)
Z axis - octave band result
X axis - octave band result
Y axis - octave band result
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-02-2018
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Seohan Technology Research Institute
JEOL
JSM-IT500
DVIA-MB1000
MB1000
P54
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