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설치 보고서
DVIA-M Series
12-08-2017

Hangzhou China DVIA-MB1000 (170906R4) Business Trip Report — ZIESS EVO18 Special Edition — 2017.12.08

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
170906R4
Hangzhou
China
Wangxiang
ZIESS
EVO18

타겟 장비

ZIESS EVO18 Special Edition

설치장소

중국 Hangzhou

특이사항

공장 연구동 1층에 설치.

END USER

Wangxiang campany (자동차부품회사)

출장일

17.12.05

출장자

임종욱

작성일

17.12.08

설치 결과 요약

Test DirectionVC-ClassBaseTopACTIVE
ZA+D
XCE
YCG

전 방향 성능 양호.

바닥 진동이 매우 안좋으므로, 현재 이미지 촬영이 힘든상황임. 대형설비가 설치되어 있는 공장 바로 옆에 연구동이 위치하고 있어서 영향을 받고 있는 것으로 보임.

공장 모습

제진대 성능이 최대로 발휘되는 것을 보여주고, 고객도 확인하였음. 설치 장소의 문제인 것을 인지하고, 고객사 내부에서 설치 관련하여 협의 진행할 예정이라고 함.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (MB1000 내부 프로그램)

X축 (MB1000 내부 프로그램)

Y축 (MB1000 내부 프로그램)

진동환경 측정 결과

Z축 (진동환경)

X축 (진동환경)

Y축 (진동환경)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-08-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
170906R4
Hangzhou
China
Wangxiang
ZIESS
EVO18