설치 보고서
DVIA-M Series
01-16-2017
FEI Nova NanoSEM 450 DVIA-MB1000 (MB1000 P31) outbound setup worksheet — reported 2017.01.16
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P31
FEI
Nova NanoSEM
NEMO
Hangzhou
Zhejiang
China
2017
목차
중국 출장 보고서 (MB1000_P31 Set up)
타겟 장비
Nova NanoSEM 450 ( FEI )
현장 사진
출장일
출장일: 17.01.11 ~ 17.01.14
출장자
출장자: 최형문 대리, 임종욱 주임
작성일
작성일: 2017.01.16
설치 결과 요약
| Test Direction | VC-Class | Base | Top |
|---|---|---|---|
| ACTIVE | Z | C | E |
| X | E | F | |
| Y | E | G |
전 방향 성능 양호.
SEM가동 전 셋업을 진행하였으며, 추후 SEM가동 시 이미지는 NEMO를 통해 피드백 받기로 함.
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
MB1000 내부 프로그램 Z axis
MB1000 내부 프로그램 X axis
MB1000 내부 프로그램 Y axis
진동환경 측정 결과
진동환경 Z axis
진동환경 X axis
진동환경 Y axis
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-16-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P31
FEI
Nova NanoSEM
NEMO
Hangzhou
Zhejiang
China
2017
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