설치 보고서
DVIA-M Series
01-16-2017
China business trip report — MB1000 P32 setup for Helios NanoLab G3 UC (FEI), January 2017
DVIA-M Series
Installation Report
MB1000
FEI
Helios NanoLab
China
Zhejiang University
NEMO
2017
목차
보고서 제목 및 범위
중국 출장 보고서
(MB1000_P32 Set up)
타겟 장비
타겟 장비 : Helios NanoLab G3 UC ( FEI )
현장 사진
출장일·출장자·작성일
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 출장일 | 17.01.11 ~ 17.01.14 |
| 출장자 | 최형문 대리, 임종욱 주임 |
| 작성일 | 2017.01.16 |
설치 결과 요약
| Test Direction | VC-Class | Base | Top |
|---|---|---|---|
| ACTIVE | Z | E | G |
| X | E | F | |
| Y | E | G |
전 방향 성능 양호.
SEM가동 전 셋업을 진행하였으며, 추후 SEM가동 시 이미지는 NEMO를 통해 피드백 받기로 함.
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
2. MB1000_P31 - Helios NanoLab G3 UC ( FEI )
Z axis
X axis
Y axis
진동환경 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-16-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
MB1000
FEI
Helios NanoLab
China
Zhejiang University
NEMO
2017
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