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설치 보고서
DVIA-M Series
01-16-2017

FEI Teneo LoVac DVIA-MB1000 (MB1000 P33) China trip report — 2017.01.16

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P33
FEI
Teneo LoVac
SEM
China

중국 출장 보고서 (MB1000_P33 Set up)

타겟 장비

타겟 장비 : Teneo LoVac ( FEI )

출장일

출장일: 17.01.11 ~ 17.01.14

출장자

출장자: 최형문 대리, 임종욱 주임

작성일

작성일: 2017.01.16

설치 결과 요약

ACTIVETest DirectionBaseTop
ACTIVEZCG
XEG
YEG

전 방향 성능 양호.

SEM가동 전 셋업을 진행하였으며, 추후 SEM가동 시 이미지는 NEMO를 통해 피드백 받기로 함.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (MB1000 내부 프로그램)

X축 (MB1000 내부 프로그램)

Y축 (MB1000 내부 프로그램)

진동환경 측정 결과

Z축 (옥타브 밴드)

X축 (옥타브 밴드)

Y축 (옥타브 밴드)

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-16-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P33
FEI
Teneo LoVac
SEM
China