Quanta FEI FEG250 SEM DVIA-MB1000 — China business trip report (MB1000 P13, October 2015)

중국 출장 보고서 (MB1000_P13 Set up)

Quanta feg 250 SEM

15.10.26

-출국, 숙소 도착

15.10.27~15.10.28

-MB1000_P11 Set-up 및 진동환경 측정

15.10.29

-Active 사양 협의

-귀국

전 방향 성능 양호.

바닥 진동환경은 수직축 C Class, 수평축 X는 C Class, 수평축 Y는 D Class로 측정되었음. 특히, 수평축의 바닥 진동환경이 저주파에 매우 취약한 상태임.

액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 E Class, 수평축 X는 E Class, 수평축 Y는 E Class로 성능이 양호함.

1/3 Octave Band에서 전 방향 20Hz이상에서 base와 top의 신호가 역전되는 현상은 사람들의 말소리, 펌프의 소음, 에어컨의 영향이 있는 것으로 보임.

1/3 Octave Band에서 BASE에는 없는 피크가 TOP에서 발생하는 현상이 있었음(별첨 2. 초록색 원 참조). SEM 장비에 있는 프레임 공진으로 생각됨.

고객에 따르면 Active 시 52만배에서 이미지가 흔들리고 있다고 함(별첨 3. 참조).

이미지로 봤을 때 제진대는 충분한 성능을 발휘하고 있다고 판단되지만, 바닥의 저주파 환경이 매우 좋지 않기 때문에 완벽하게 제진이 되지 않고 있는 것으로 생각됨(별첨 3. 참조).