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설치 보고서
DVIA-M Series
07-14-2020

FEI NOVA450 DVIA-MB1000 (MB1000 P8) installation worksheet — Seoul Hanyang University — 2020-07-14

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P8
FEI
NOVA450
SEM
Hanyang University
Seoul
Republic of Korea
2020

목차

FEI NOVA450 - 서울 한양대학교

(MB1000_ P8)

Target equipment

FEI NOVA450

Place of installation

서울 한양대학교 퓨전테크센터 2층

Remark

Good Performance

END USER

서울 한양대학교

Operator

Operator: Choi, Hyoung Mun

Date of setup

Date of setup : 20.07.14

Date of reporting

Date of reporting : 20.07.14

Date of business trip

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

Overview

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date

Measurement date: 2020.07.14 (TUE),

Operator: Daeil System, Manager Choi, Hyoung Mun

Place of measurement

Place of measurement : 서울 한양대학교 퓨전테크센터 2층

Equipment Model

Equipment Model: FEI - NOVA450

Measurement conditions and results

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

PULSE LabShop

Summary of measurement results

시험 조건VC-ClassBaseTop
ACTIVEZAE
XCE
YBF

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

MB1000 internal program Z axis

MB1000 internal program X axis

MB1000 internal program Y axis

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Octave band Z axis

Octave band X axis

Octave band Y axis

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C부터 VC-G는 1–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. 세부 크기는 반도체 제조 시 선폭 또는 의료·입자 연구 등에서의 입자 크기를 가리킵니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-14-2020
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P8
FEI
NOVA450
SEM
Hanyang University
Seoul
Republic of Korea
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