설치 보고서
DVIA-P Series
07-05-2017
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Suwon vibration environment measurement (JEOL JSM-7800F site) — 2017-07-05
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
Suwon
JEOL
JSM-7800F
Vibration measurement
목차
일정 및 출장 담당
셋업일 : 17.06.30 (금)
출장자 : 대일시스템 임종욱 대리
작성일 : 17.07.05 (수)
설치 결과 요약
| 측정 방향 | VC-Class (바닥) | VC-Class (ACTIVE 제진대 위) |
|---|---|---|
| Z | B | F |
| X | D | F |
| Y | E | F |
전 방향 성능이 양호합니다.
바닥의 진동은 수직 Z축 B Class , 수평 X축은 D Class, 수평 Y축은 E Class로 측정되었습니다.
ACTIVE 제진대를 사용할 경우, 제진대 위의 진동은 모든 방향 F Class로 측정되었습니다.
설치 장소의 수직축 진동이 높은 편이며, ACTIVE 제진대를 사용함으로써 진동이 감쇠되는 것을 확인할 수 있습니다.
진동환경 측정 결과
JEOL JSM-7800F FE-SEM (현장 장비 사진)
Z 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)
X 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)
Y 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일07-05-2017
태그
DVIA-P Series
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JSM-7800F
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