설치 보고서

07-05-2017

Tier-1 전자부품 제조사 수원사업장 진동환경 측정 결과 — 2017-07-05

DVIA-P Series

Installation Report

Tier-1 Electronics Component Manufacturer

Suwon

Vibration measurement

일정 및 출장 담당

셋업일 : 17.06.30 (금)

출장자 : 대일시스템 임종욱 대리

작성일 : 17.07.05 (수)

설치 결과 요약

측정 방향	VC-Class (바닥)	VC-Class (ACTIVE 제진대 위)
Z	B	F
X	D	F
Y	E	F

전 방향 성능이 양호합니다.

바닥의 진동은 수직 Z축 B Class , 수평 X축은 D Class, 수평 Y축은 E Class로 측정되었습니다.

ACTIVE 제진대를 사용할 경우, 제진대 위의 진동은 모든 방향 F Class로 측정되었습니다.

설치 장소의 수직축 진동이 높은 편이며, ACTIVE 제진대를 사용함으로써 진동이 감쇠되는 것을 확인할 수 있습니다.

진동환경 측정 결과

현장 사진 (Tier-1 전자부품 제조사 수원사업장)

Z 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)

이미지 2 · Tier-1 전자부품 제조사 수원사업장 진동환경 측정 결과 — 2017-07-05

X 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)

이미지 3 · Tier-1 전자부품 제조사 수원사업장 진동환경 측정 결과 — 2017-07-05

Y 축 (1/3 옥타브 대역, 바닥 대 제진대 상부)

이미지 4 · Tier-1 전자부품 제조사 수원사업장 진동환경 측정 결과 — 2017-07-05

참조

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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