SERON Technology self-developed FE-SEM DVIA-MB1000 (170619R2) installation report — 2025.05.26
Contents
개요
월드비전 506호에 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행했습니다.
SERON Technology 자체 개발 FE-SEM의 이미지에서 진동이 감지되어 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 뒤쪽에서 로터리펌프가 가동 중이었습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
장비 안착 후 장비 Operation 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 170619R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2025년 05월 21일
보고서 작성일
25.05.26
End User
SERON Technology
설치 장소
월드비전 506호
고객사 장비
Manufacturer: SERON Technology
Equipment: FE-SEM
Model: Self-made
장비 상태
장비 제진대 위에 안착 및 Operation
튜닝 횟수
3회차
진동 측정 장비
10.1) PULSE 22
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: 90
결론
Vertical: 63 Hz에서 VC-B에서 VC-G까지 진동이 감쇠 됩니다.
Left to Right: 2 Hz에서 VC-D에서 VC-F까지 진동이 감쇠 됩니다.
Front to Back: 2 Hz에서 VC-D에서 VC-G까지 진동이 감쇠 됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 장비상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-MB1000 |
|---|---|---|---|---|
| 위치: 월드비전 506호 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | 설치완료/Operation | Vertical | VC-B@ 63 Hz | VC-G@ 63 Hz |
| Left to Right | VC-D@ 2 Hz | VC-F@ 2 Hz | ||
| Front to Back | VC-D@ 2 Hz | VC-G@ 2 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Narrow Band
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Narrow Band
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Narrow Band
Front to Back Transmissibility
설치 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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