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설치 보고서
DVIA-M Series
12-28-2016

Hankook Tire Technodome Hitachi SU8010 DVIA-MB1000 (P38) vibration environment measurement — 2016.12.28

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P38
Hankook Tire
Hitachi
SEM
SU8010
Daejeon
Technodome

목차

한국타이어 MB1000_P38 진동환경 측정 결과

(한국타이어)

타겟 장비 : HITACHI SEM _ SU8010

출장일2016.12.27 (화)
작성일2016.12.28 (수)
출장자김두현 대리, 임종욱 주임 (대일시스템)

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2016. 12. 27(화), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소 : 대전 한국타이어 테크노돔 1층 연구동

장비 모델 : HITACHI SEM ( SU8010 )

측정 조건 및 결과

측정 조건: 제진대의 상판과 연구동 건물 바닥을 측정.

측정결과 요약

Test ConditionVC-Class ZVC-Class XVC-Class Y
건물 바닥A ( 36.9 um/s )D ( 5.1 um/s )D ( 5.4 um/s )
제진대 상판F ( 1.3 um/s )G ( 0.4 um/s )G ( 0.4 um/s )

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 A Class , X축 D Class, Y축 D Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 F Class, X,Y축 G Class로 측정됨.

성능은 매우 양호하며, VC-Class그래프를 첨부하였음.

바로 옆에 위치한 연구동에서 대형 측정 장비를 가동시켰을 때 발생하는 진동을 측정하고 제진대를 재 튜닝하기 위해 재 방문할 예정. (2017년 1월 3일 방문 예정)

진동환경 VC-CLASS 그래프

수직축(Z) 진동레벨 - VC-CLASS

수평축(X) 진동레벨 - VC-CLASS

수평축(Y) 진동레벨 - VC-CLASS

내부 프로그램 전달률

수직축(Z) 진동레벨 - 프로그램 전달률

수평축(X) 진동레벨 - 프로그램 전달률

수평축(Y) 진동레벨 - 프로그램 전달률

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)사람이 분명히 진동을 느낄 수 있는 수준. 작업장 등 비민감 구역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)사람이 진동을 느낄 수 있는 수준. 사무실 등 비민감 구역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)사람이 진동을 거의 느끼지 못하는 수준. 대부분의 수면 공간 등에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)사람이 진동을 느끼지 못하는 수준. 수술실, 최대 약 100배 광학현미경 등에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A최대 약 400배 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스 등에 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B선폭 약 3µm 이하 리소그래피·검사 장비 등에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C최대 약 1000배 광학현미경, 선폭 약 1µm 리소그래피 장비 등에 적합합니다.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고사양 전자현미경을 포함한 요구 높은 장비에 적합합니다.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 장비에 해당합니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. Detail size는 마이크로전자 소자의 선폭이나 의료·바이오 분야에서는 입자 크기 등을 가리킵니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-28-2016
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P38
Hankook Tire
Hitachi
SEM
SU8010
Daejeon
Technodome

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