서울과학기술대학교 Hitachi SU8010 DVIA-MB1000(MB1000 P15) 진동환경 측정 — 2016-01-12
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
MB1000
P15
Hitachi
SU8010
SEM
Seoul National University of Science and Technology
SeoulTech
Lee Gong Trading
Hyeseong Hall
목차
MB1000 P15 진동환경 측정 결과 (서울과학기술대학교)
보고 일자 (파일 기준): 2016-01-12
측정일: 2016. 01. 11(월)
측정자: 대일시스템 임종욱 주임
측정장소: 서울과학기술대학교 혜성관 2층 전자주사현미경실
장비: HITACHI SEM (모델명: SU8010)
설치 현장 사진
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일: 2016. 01. 11(월), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임
측정장소: 서울과학기술대학교 혜성관 2층 전자주사현미경실
장비 : HITACHI SEM (모델명 : SU8010)
측정 조건 및 결과
측정 조건: MB1000의 상판과 연구실 바닥을 각각 측정하였음.
진동 환경 측정 결과는 VC-CLASS로 표시함.(첨부파일 #1)
제진대의 성능을 확인하기 위해 내장 프로그램의 전달률을 표시함. (첨부파일 #2)
측정결과 요약
| 측정 조건 | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| 바닥 | B | E | D |
| 제진대 상부 | F | F | F |
제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 B Class , X축 E Class, Y축 D Class로 측정됨.
제진대의 상부는 각각 Z축 F Class, X축 F Class, Y축 F Class로 측정됨.
제진대를 설치 한 후 이미지 측정 결과가 양호함.
내장 프로그램의 측정 결과 10Hz기준 전 방향 -30dB 수준으로 양호함.
진동환경 VC-CLASS 그래프
수직축(Z축) 진동레벨
수평축(X축) 진동레벨
수평축(Y축) 진동레벨
내장 프로그램 전달률
Z축 (내장 프로그램)
Z축 — Transmissibility
Z축 — Autospectrum (테이블)
X축 (내장 프로그램)
X축 — Transmissibility
X축 — Autospectrum (테이블)
Y축 (내장 프로그램)
Y축 — Transmissibility
Y축 — Autospectrum (테이블)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일01-12-2016
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