Hitachi SU8010 DVIA-MB1000 (MB1000 P15) vibration environment measurement — Seoul National University of Science and Technology — 2016-01-12

보고 일자 (파일 기준): 2016-01-12

측정일: 2016. 01. 11(월)

측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소: 서울과학기술대학교 혜성관 2층 전자주사현미경실

장비: HITACHI SEM (모델명: SU8010)

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2016. 01. 11(월), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소: 서울과학기술대학교 혜성관 2층 전자주사현미경실

장비 : HITACHI SEM (모델명 : SU8010)

측정 조건: MB1000의 상판과 연구실 바닥을 각각 측정하였음.

진동 환경 측정 결과는 VC-CLASS로 표시함.(첨부파일 #1)

제진대의 성능을 확인하기 위해 내장 프로그램의 전달률을 표시함. (첨부파일 #2)

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 B Class , X축 E Class, Y축 D Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 F Class, X축 F Class, Y축 F Class로 측정됨.

제진대를 설치 한 후 이미지 측정 결과가 양호함.

내장 프로그램의 측정 결과 10Hz기준 전 방향 -30dB 수준으로 양호함.