HITACHI SEM SU8010 DVIA-MB1000 program P14 — Giheung vibration survey (2015-12)

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2015. 12. 07(월), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소: 기흥 SGS korea 4층 반도체 시험분석실

장비 : HITACHI SEM (모델명 : SU8010)

측정 조건: MB1000의 상판과 연구실 바닥을 각각 측정하였음.

진동 환경 측정 결과는 VC-CLASS로 표시함.(첨부파일 #1)

제진대의 성능을 확인하기 위해 내장 프로그램의 전달률을 표시함. (첨부파일 #2)

SEM 장비의 이미지를 촬영하여 제진 효과를 확인하였음. (첨부파일 #3)

바닥진동이 많이 생기는 장소이며, 특히 수평축 저주파가 강하게 나타남.

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 B Class , X축 D Class, Y축 C Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 E Class, X축 F Class, Y축 E Class로 측정됨.

제진대를 설치 한 후 이미지는 양호한 것으로 확인하였고, END USER가 만족하고 있음.

내장 프로그램상에서 10Hz기준 Z축 -30dB, X축 -32dB, Y축 -35dB수준으로 양호함.