설치 보고서
DVIA-M Series
10-06-2016
Samsung Electro-Mechanics Cheonan — Hitachi SEM SU8010 vibration environment measurement (MB1000_P34) — 2016-10-06
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung Electro-Mechanics
Cheonan
Hitachi
SU8010
MB1000
Vibration measurement
목차
일정 및 출장 담당
출장일: 2016.10.05 (수)
작성일: 2016.10.06 (목)
출장자: 임종욱 주임, 대일시스템
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정 조건 및 결과
측정일: 2016. 10. 05(수), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임
측정장소 : 천안 삼성전기
장비 모델 : HITACHI SEM ( SU8010 )
제진대: MB1000_P34
측정 조건: 제진대의 상판과 연구동 건물 바닥을 측정.
| 시험 조건 | Z | X | Y |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | C | E | E |
| 제진대 상판 | G | G | G |
제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 C Class , X축 E Class, Y축 E Class로 측정됨.
제진대의 상부는 전 방향 G Class로 측정됨.
VC-Class그래프를 첨부하였음.
진동환경 VC-CLASS 그래프
타겟 장비 (히타치 SEM SU8010)
수직축(Z) 진동레벨
수평축(X) 진동레벨
수평축(Y) 진동레벨
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-06-2016
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung Electro-Mechanics
Cheonan
Hitachi
SU8010
MB1000
Vibration measurement
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