중국 광저우 ENF 히타치 SEM SU8010 DVIA-MB1000(MB1000 P35) 진동환경 측정 결과 보고서 — 2016.11.11

(중국 광저우 ENF)

타겟 장비 : HITACHI SEM _ SU8010

출장일: 2016.11.09 (수)

작성일: 2016.11.11 (금)

출장자: 이양문 대리, 임종욱 주임, 김성국 사원

개요 : 제진대 설치 후 진동 환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인.

측정일 : 2016. 11. 09(수), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정 장소 : 중국 광저우 ENF

장비 모델 : HITACHI SEM ( SU8010 )

측정 조건: 제진대의 상판과 연구동 건물 바닥을 측정하였음.

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 B Class , X축 C Class, Y축 C Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 E Class, X축 E Class, Y축 E Class로 측정됨.

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.