HITACHI SEM SU3500 DVIA-MB1000 program P29 — Kyungsan Tyco AMP vibration survey (2016-09)

(경산 타이코 AMP)

타겟 장비 : HITACHI SEM _ SU3500

출장일: 2016.09.06 (화)

작성일: 2016.09.07 (수)

출장자: 김두현 대리, 임종욱 주임

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2016. 09. 06(화), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소 : 경산 타이코 AMP

장비 모델 : HITACHI SEM ( SU3500 )

측정 조건: 제진대의 상판과 연구동 건물 바닥을 측정.

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 A Class , X축 C Class, Y축 C Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 E Class, X축 F Class, Y축 F Class로 측정됨.

제진대를 설치 한 후 이미지 측정 결과가 양호함.

내장 프로그램을 사용하여 성능을 측정한 결과 10Hz기준 전 방향 -30dB 수준으로 양호함.

VC-Class그래프와 내장 프로그램의 전달률을 첨부하였음.