Hitachi SEM SU3500 DVIA-MB1000 (MB1000 P12) China business trip worksheet — 2016.04.08

SU3500 ( HITACHI SEM )

N/A

N/A

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최형문, 임종욱 / 16.04.05 ~ 16.04.07

2016.04.08

16.04.05

-출국, 설치 장소 도착

-Passive Set Up 진행 ( 케이블 정리 )

16.04.06

-Active Set Up 진행

-장비 이미지 확인

-진동 환경 측정 및 고객 대응

16.04.07

-JEOL 2100F , FEI TEM 장비에 대한 협의 (설치 solution 제공)

-귀국

전 방향 성능 양호. < 첨부 1 확인 >

바닥 진동환경은 수직축 C Class, 수평축 X는 C Class, 수평축 Y는 D Class로 측정되었음.

액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 G Class, 수평축 X는 F Class, 수평축 Y는 G Class로 성능이 양호함. < 첨부 2 확인 >

장비의 이미지를 촬영하여 제진이 잘 되고 있음을 확인함. < 첨부 3 확인 >

고객이 매우 만족하고 있음.

NEMO와 Active 설치 관련 협의를 진행하였음. < 첨부 4 확인 >

설치 장소는 Access Floor로 되어 있음.

DAEIL과 YIMO, End user의 협의를 통해 바닥공사를 진행할 예정임.

중국 방문 시(04/07) NEMO와 협의한 결과는 다음과 같음.

⇒ 그림 1의 파란 푸른색 박스는 장비 및 책상을 포함한 전체 크기이며, 붉은색 박스는 제진이 필요한 부분임.

⇒ 그림 1에서 붉은색 박스 부분에 DAEIL의 MB1000을 설치하는 방법과 그림 2와 같이 서포트 프레임과 제진대를 포함하여 설치하는 방법을 고객에게 제안할 예정임. 고객이 선택하는 방법으로 추가적인 협의를 진행할 예정임.

그림 3에 TMC Solution이며, 고객은 해당 모양과 같은 프레임을 설치하기를 원함.

NEMO와 협의한 결과 그림 4와 같은 프레임(붉은 선)을 제작하여 방법을 고객에게 제안하기로 함.

설계팀과 협의가 필요할 것으로 보임.