Korea Institute of Industrial Technology — M-1000 P9 relocation vibration survey (FEI Nova Nano SEM 450, 2015-07-16)

M-1000 P9 제진대 이전 설치 후 진동환경 및 성능을 확인하였음.

측정일시: 2015. 07. 16(목) 15:30, 측정자: 임종욱

측정장소: 경기도 시흥시 정왕동 오이도 한국생산기술연구원 (이전 설치 장소)

FEI Nova Nano SEM 450 탑재, 탑재장비는 내장 패시브 및 기기 기능이 동작 중.

탑재 장비의 셋업이 완료되지 않은 상태임.

측정 위치는 제진대 중앙, 제진대 전면 바닥(base)임.

수직축은 가진하여 측정하고, 수평축은 가진하지 않고 측정함.

제진대 자체성능 양호

탑재 장비의 셋업이 진행중인 상태였으며 측정 장소의 바닥이 매우 단단하여 수평축의 경우 Class의 변동이 없는 것으로 측정되었음.

수직축의 경우 수동으로 가진하여 성능 및 진동환경을 측정하였음.

바닥 진동환경은 수평축 F Class, 가진하였을 경우의 수직축은 A Class로 측정되었음.

액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 E Class, 수평축 F Class 이상으로 양호.