LS Mtron — M-1000 P4 vibration measurement with FEI SEM (2014-07-08)

M-1000 P4 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일시: 2014. 7. 8(화) 16:00, 측정자: 최성원

측정장소: LSmtron 4층

FEI SEM 탑재, 일부 기능 가동 중에 튜닝 및 진동측정 하였음.

측정 위치는 제진대 상판 꼭지점 부근(top)와 제진대 부근 바닥(base)으로 하였음.

제진대 자체성능 양호

액티브 시 제진대 상판 진동환경 E Class 이상으로 양호

SEM 자체 내장 패시브는 수직축이 3Hz, 수평축이 1Hz 부근에서 공진주파수를 가지는 듯 하나 M1000의 동작에 무리가 없었음.

P, R 회전축의 경우 게인을 안정적으로 설정하였으나, 모서리 부근에서 측정한 성능이 좋았기 때문에 회전제어 성능이 충분한 것으로 판단됨.

패시브 상태나 액티브 상태 동일하게 수평축 25Hz 부근 성능이 좋지 않음. 그러나 오픈루프에서는 해당 주파수에 이상이 발견되지 않아 제진대 외적인 문제로 판단.

펌프가 부근에 설치되어 있어 소음진동에 노출되어 있는 상황으로, 90Hz, 100Hz의 진동스펙트럼이 높은 것은 이러한 영향에 의한 것이라 생각됨. 향후 펌프와 제진대 사이에 격벽이 설치된다고 함.