Hanyang University M-1000 P8 vibration environment survey — 2014-12-29

M-1000 P8 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일시: 2014. 12. 29(월) 15:30, 측정자: 최성원

한양대학교 공과대학 FTC관 2층

FEI SEM 탑재, 탑재장비는 내장 패시브 및 기기 기능을 동작시키지 않은 상태

방음실 및 EMI 상쇄장치를 추가 설치할 예정으로, 환경 변화 가능성이 있음.

측정 위치는 제진대 상판 전면 중앙, 제진대 전면 바닥(base)으로 하고 가진 없이 측정.

제진대 자체성능 양호

바닥 진동환경은 수평축의 경우 F Class로 양호하나, 수직축은 B Class로 높은 수준. 건물의 바닥 강성이 비교적 낮은 것 같고, 격실 내의 펌프, 칠러 등에 의한 진동이 있다는 FEI 엔지니어 의견.

액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class 이상으로 양호

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