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설치 보고서
DVIA-M Series
01-05-2015

DVIA-M1000 P9 vibration environment measurement — Incheon Production Technology Institute — 2015-01-05

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M-1000 P9
VAAV
Vibration environment
FEI
Nova Nano SEM
Daeil Systems
2015

진동환경측정결과 (인천 생산기술원)

개요

M-1000 P9 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일시: 2015. 1. 5(월) 15:30, 측정자: 최성원

측정장소: 인천 생산기술원 1층

4. 측정 조건 및 결과

FEI Nova Nano SEM 450 탑재, 탑재장비는 내장 패시브 및 기기 기능이 동작 중.

기기 위치 변경 및 격벽 설치 예정으로, 환경 변화 가능성이 있음.

측정 위치는 제진대 중앙, 제진대 전면 바닥(base)으로 하고 가진 없이 측정.

측정 현장 사진

결과 요약

테스트 방향VC-Class (Base)VC-Class (Top)
ACTIVEZDG
XFG
YFG

제진대 자체성능 양호

바닥 진동환경은 수평축 F Class, 수직축 D Class로 양호한 수준. 바닥이 비어있고 지하실이 있어 진동 문제가 있다는 생산기술원 직원 의견과 다르게 양호한 수준으로 측정됨.

액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class 이상으로 양호

VAAV 프로그램 측정 결과

FFF Z

FFF X

FFF Y

OCTAVE BAND

Active Z

Active X

Active Y

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-05-2015
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
M-1000 P9
VAAV
Vibration environment
FEI
Nova Nano SEM
Daeil Systems
2015