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설치 보고서
DVIA-M Series
02-12-2015

Banwol Hi-Tech 4F — Daeil Analysis Research Institute — DVIA-M1000 (M1000 P10) vibration survey — 2015-02-12

DVIA-M Series
Installation Report
Daeil Systems
Banwol Hi-Tech
DVIA-M1000
M1000 P10
TESCAN
VAAV

현장 및 보고서 제목

진동환경측정결과(반월하이테크 4층 대일분석연구소)

개요

M-1000 P10 제진대 설치 후 진동환경이 장비 사용 요건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일 : 2015. 2. 12(수), 측정자 : 최성원, 임종욱

3. 측정 조건 및 결과

TESCAN 장비 탑재. 장비내장 액티브 제진대는 부상만 되어 있고, 장비 전체 미가동.

센서 위치는 제진대 상판 전면과(top) 제진대 전면 바닥(base)으로 하고 가진 없이 측정.

측정 배치

결과 요약

상태: ACTIVE

Test DirectionBaseTop
ZCG
XEG
YEG

제진대 자체성능 양호

액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class로 양호

VAAV프로그램 측정 결과

FFFZ

FFFX

FFFY

OCTAVE BAND

Active Z

송부 자료에는 Active Z 조건의 1/3 옥타브 밴드 차트(속도, 상·하부 궤적 및 VC 기준선 오버레이)가 벡터 차트 형태로만 포함되어 있으며, 본 페이지에는 별도 비트맵 그림을 싣지 않았습니다.

Active X

송부 자료에는 Active X 조건의 1/3 옥타브 밴드 차트(속도, 상·하부 궤적 및 VC 기준선 오버레이)가 벡터 차트 형태로만 포함되어 있으며, 본 페이지에는 별도 비트맵 그림을 싣지 않았습니다.

Active Y

송부 자료에는 Active Y 조건의 1/3 옥타브 밴드 차트(속도, 상·하부 궤적 및 VC 기준선 오버레이)가 벡터 차트 형태로만 포함되어 있으며, 본 페이지에는 별도 비트맵 그림을 싣지 않았습니다.

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm line widths.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).

2. Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-12-2015
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Daeil Systems
Banwol Hi-Tech
DVIA-M1000
M1000 P10
TESCAN
VAAV