BRUKER Korea Demo실 — ZEISS SUPRA 55VP DVIA-MB1000 (140408R5) installation report — 2024-08-02
목차
고객사
BRUKER Korea
작성자
엔지니어: 이채원
튜닝 날짜: 24.08.02
보고서 작성일: 24.08.02
개요
가든파이브(송파)에 이전 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
제진대 상부와 다량의 케이블이 접촉되고 있는 것을 확인하였습니다. 이는 제진대 성능에 영향을 줄 수 있습니다.
DVIA-MB1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Brüel & Kjær사의 DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 140408R5
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2024년 08월 02일
설치 장소
가든파이브 툴관 5층 BRUKER Korea Demo실
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: SUPRA 55VP
장비 상태
장비 제진대위에 안착(Turned off)
튜닝 횟수
2회차
진동 측정 장비
9.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
Vertical: 5 Hz와 63 Hz를 제외한 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
Left to Right: 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
Front to Back: 1 Hz를 제외한 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
결과요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-MB1000 | Floor | DVIA-MB1000 | |||
| 가든파이브 툴관 5층 BRUKER Korea Demo실 위치: Demo실 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | 설치완료 /Turn off | Vertical | 3.81E-06 m/s @ 5 Hz | 1.03E-06 m/s @ 5 Hz | VC-D | VC-F |
| 4.53E-06 m/s @ 12.5 Hz | 2.76E-07 m/s @ 12.5 Hz | VC-D | VC-G | |||
| Left to Right | 1.31E-06 m/s @ 2.5 Hz | 2.01E-07 m/s @ 2.5 Hz | VC-F | VC-G | ||
| 2.55E-06 m/s @ 12.5 Hz | 3.06E-07 m/s @ 12.5 Hz | VC-E | VC-G | |||
| Front to Back | 3.70E-06 m/s @ 2 Hz | 7.34E-07 m/s @ 2 Hz | VC-D | VC-G | ||
| 1.87E-06 m/s @ 31.5 Hz | 3.87E-07 m/s @ 31.5 Hz | VC-E | VC-G | |||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Narrow Band
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Narrow Band
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Narrow Band
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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