Seoul National University DVIA-T56 (130123R3) Installation Report
Contents
개요
삼성리더스 빌딩 1104호에 설치된 DVIA-T56 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
글로브 박스 내부에서 장비 가동 시 진동 제어가 되지 않는 문제가 발생하였습니다.
해당 문제를 해결하기 위해 레벨 풋 탭 홀 재가공 및 기존 레벨 풋을 비도금 레벨풋으로 교체하였습니다.
장비 미설치 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
고객사 개발 장비로서 진동 스펙은 미정입니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T56
시리얼 넘버: 130123R3
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 날짜
2024년 12월 12일
설치 장소
삼성리더스 빌딩 1104호
End User
서울대학교
고객사 장비
Manufacturer: Self - made
Equipment: AFM
Model: -
장비상태
장비 미설치
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
Prepared by
Engineer: 이채원, 서종화
Tuning date: 24.12.12
Report written date: 24.12.12
결론
Vertical: 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
Left to Right, Front to Back: 1 Hz를 제외한 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-T56 |
|---|---|---|---|---|
| 삼성리더스 빌딩 1104호 1. Floor 2. DVIA-T56 | 장비 미설치 | Vertical | VC-C @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 8 Hz | VC-G @ 8 Hz | ||
| Front to Back | Operating Theatre @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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