MC1000 (P58) vibration setup report — in-house TEM at KBSI (2018-07-30)

Report title (source): 서한기술연구소(MC1000_P58 Set_Up)

Target equipment: TEM 자체 개발장비

Installation site: 한국기초과학지원연구원 연구동 2층

Notes: 제진대 성능 양호

END USER: 한국기초과학지원연구원

Site visit date: 18.07.27

Engineer: 최형문

Report written date: 18.07.30

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

Measurement date: 2018.07.27 (금), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

Measurement site: 한국기초과학지원연구원 연구동 2층

Equipment model: TEM 자체 개발장비(프레임까지 사진촬영 허락)

Test Condition — VC-Class (일반 조건)

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.

측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.

주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.

Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)