도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
ZEISS GeminiSEM 360 DVIA-M1000 내부 성능 측정 보고 (220603R4, 2024-07-05)
DVIA-M1000 축약 양식(시리얼 220603R4), ZEISS GeminiSEM 360. 설치일 23.08.09, 보고서 작성일 24.07.05, 측정일 2023.08.09, 운영자 Chaewon Lee(대일시스템). 원문에서 설치 장소·END USER·측정 장소가 비어 있어 게시본에는 N/A로 표기했습니다. 진동 사양·측정 요약 표·Reference 절은 원문에 없습니다. 내부 프로그램 플롯 제목은 Vertical·Left to Right·Front to Back입니다.
DVIA-M1000 (230111R6) Set-up 보고서 — ZEISS Sigma500
ZEISS Sigma500 SEM용 DVIA-M1000 Set-up 보고서(시리얼 230111R6). 내부 프로그램 성능 측정 결과(수직·좌우·전후).
DVIA-MB1000(230501R4) M1000 내부 프로그램 성능 설치 보고서
DVIA-MB1000 축약 설치 보고서(시리얼 230501R4). 설치일 23.11.15, 보고서 작성일 24.07.05, 측정일 2023. 11.15(수), 운영자 대일시스템 Chaewon Lee. 현장 확인표의 Target equipment·Place of installation·END USER는 원문에서 대시/공란이며 공개 본문에서는 N/A로 표기. 개요 문장은 원문의 DVIA-MB1000 표기를 그대로 따름. 원문에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Vertical·Left to Right·Front to Back 소제목 아래 세 장입니다.
JEOL JSM-IT800 FE-SEM DVIA-MB1000(230512R3) 설치 보고서
DVIA-MB1000(시리얼 230512R3) Tier-1 Semiconductor(Ningbo SMIC) JEOL JSM-IT800 FE-SEM 설치 보고서. 2024년 5월 28일 튜닝은 2차(1차 2023.08.23). 작성자 N/A, 진동 사양 양식 N/A, 결론은 플랫폼이 적절히 설치·작동함을 명시. 공개 그림은 축별 전달률·장비 사진이며 Reference는 VC 기준 마크다운 표.
Tier-1 Semiconductor ZEISS Sigma 300 VP / JEOL IT800 SEM DVIA-M-JSA(230512R3) 내부 프로그램 성능 측정 보고
Ningbo SMIC 현장 DVIA-M-JSA(시리얼 230512R3) 내부 프로그램 성능 화면(수직·좌우·전후)과 설치 사진입니다. 원문 양식의 표·날짜·장비 블록(타깃 장비·Equipment Model)을 그대로 반영하였으며, 공개 목차는 원문에 나타난 절·표 구성에 맞춥니다.
DVIA-M1000(230522R1) 내부 프로그램 설치 보고서
MB1000 내부 프로그램 양식 기반 DVIA-M1000 축약 설치 보고서(시리얼 230522R1). 설치일 23.11.14, 보고서 작성일 24.07.05; 측정일 2023. 11.14(화) 운영자 대일시스템 Chaewon Lee. Target equipment는 양식상 미기재(N/A), 설치 장소·END USER는 “-”, 측정 장소는 공란(N/A). 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함. 원문에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없으며, 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”; 게시 그림은 Vertical·Left to Right·Front to Back 세 장입니다.