도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
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장비 유형
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전체 도입사례
성균관대학교 JEOL JBX-8100FX DVIA-P2200(220509R3) 점검 보고서
성균관대학교 연구동 JEOL JBX-8100FX 전자빔 리소그래피용 DVIA-P2200(시리얼 220509R3) 점검 보고서. 담당 윤하리·박종원, 튜닝·보고 2023년 10월 31일. Feedback/Feedforward 재튜닝 완료(성능 양호), 공기 공급 용량 부족으로 Caution AIR LED 점등(성능 영향 없음). 바닥·액티브 VC 등급 요약과 Z/X/Y VC 곡선을 게시합니다.
Dow Chemical Sigma 300 DVIA-M1000(230328R3) 설치 보고서
DVIA-M1000 축약 설치 보고서(시리얼 230328R3, 원본 M1000_230328R3_23.10.31.docx). 설치·작성일 23.10.31, 측정일 2023.10.31(화) 상하이, 운영자 대일시스템 Sangjae Lee. END USER Dow Chemical, Target equipment Sigma 300 및 설치 장소 Shanghai는 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. 양식 머리글은 (M1000_ 230328R3 Set up)로 표기되어 있습니다. Word 표지·헤더 장식 그림은 게시본에서 제외했습니다.
Dow Chemical Sigma 300 DVIA-M1000(230420R3) 설치 보고서
DVIA-M1000 축약 설치 보고서(파일 시리얼 230420R3). 설치·작성일 23.10.31, 측정일 2023.10.31(화) 상하이, 운영자 대일시스템 Sangjae Lee. END USER Dow Chemical, Target equipment Sigma 300 및 설치 장소 Shanghai는 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. 양식 머리글은 (M1000_ 230328R3 Set up)로 표기되어 있습니다. Word 표지·헤더 장식 그림은 게시본에서 제외했습니다.
Suzhou Sko Semiconductor Sigma 300 DVIA-M1000(221108R1) 내부 프로그램 성능 측정 — 2023.10.26
DVIA-M1000 시리얼 221108R1 — Suzhou Sko Semiconductor, 대상 장비 Sigma 300, 설치·측정지 Suzhou 양식. 내부 프로그램 결과 플롯은 원문 축 라벨 Z axis / X axis / Y axis. 회사명 상단 장식용 그래픽은 게시 제외.
Sigma 300 DVIA-M1000(230818R4) 동관 호성 정밀 전도 설치·셋업 핸드아웃
시리얼 230818R4(DVIA-M1000, 원문 표기) 동관 호성 정밀 전도(동관) Sigma 300 설치·셋업 핸드아웃. 보고 블록에 Operator Park, Jongwon, setup 23.10.25, 보고 일자 23.10.26, 출장 17.12.27~17.12.29 기재. 개요는 플랫폼이 적절히 설치·작동함을 기술. 측정 메모는 2023.10.25(수), 운전원 DAEIL SYSTEMS Jongwon Park, 측정 장소 Dongguan, 장비 모델 Sigma 300. 게시 이미지: 실험실·장비 사진 및 M1000 내부 프로그램 Z·X·Y축 성능 그래프. 표지·헤더 장식 래스터는 제외.
Cathay Biotech Apreo 2C HiVac DVIA-M1000(230824R1) 설치 보고서
DVIA-M1000 축약 설치 보고서(시리얼 230824R1). 설치일 23.09.25, 작성일 23.10.19, 측정일 2023.09.25(월) 상하이, 운영자 대일시스템 Sangjae Lee. END USER Cathay Biotech Inc., Target equipment Apreo 2C HiVac 및 설치 장소 Shanghai는 양식과 동일합니다. 개요는 표준 DVIA-M1000 문장만 포함합니다. 원문 양식에 진동 사양·장비 상태·튜닝 요청·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다. 원문 절 제목은 “M1000 internal program performance measurement result”이며, 게시 그림은 Z axis·X axis·Y axis 라벨의 프로그램 결과 세 장입니다. Word 헤더·표지 장식 및 Set up 줄 비트맵은 게시본에서 제외했습니다.