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설치 보고서
DVIA-M Series
04-15-2024

Thermo Fisher Scientific Spectra 300 TEM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

개요

DVIA-MB3000 액티브 진동 제어 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB3000

시리얼 넘버: 231113R4-1

담당 엔지니어

대일시스템 고객 요청에 따라 현장 맞춤 튜닝을 진행했습니다.

튜닝 일자

2024년 7월 19일

튜닝 횟수

4차 튜닝 (1차: 2024.01.17, 2차: 2024.02.21, 3차: 2024.04.10)

설치 장소

중국 상하이

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: TEM

모델: Spectra 300

장비 상태

장비 미설치

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

진동 수준 분류설명진폭¹)
μm/s (µin/s)		정밀도²)
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 수면 구역에 적합. 컴퓨터, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 이하 현미경에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술 장비 및 100배 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 이하 광학현미경, 정밀 저울, 투영 정렬기에 적합.50 (2,000)8
VC-B3 μm 이하 선폭 리소그래피, 스테퍼 등 검사 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 이하 광학현미경, 1 μm 이하 정밀 리소그래피·검사 장비(덜 민감한 전자현미경), TFT-LCD 스테퍼/스캐너에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D고사양 전자현미경(SEM, TEM), E-Beam 시스템 등에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E장거리 빔 경로 레이저 시스템 또는 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 민감한 장비에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F초정밀 연구 시설에 적합. 대부분의 장소(특히 클린룸)에서 달성 어려움. 설계 기준이 아닌 진동 수준 평가 기준.1.56 (62.5)N/A
VC-G초정밀 연구 시설에 적합. 대부분의 장소(특히 클린룸)에서 달성 어려움. 설계 기준이 아닌 진동 수준 평가 기준.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A~VC-B는 8-80Hz 옥타브 밴드, VC-C~VC-G는 1-80Hz 옥타브 밴드에서 측정한 진폭값.

2. 마이크로일렉트로닉스에서는 정밀도는 선폭, 의료 분야에서는 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-15-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

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