설치 보고서

DVIA-M Series

08-25-2023

Thermo Fisher Scientific Talos F200X G2 TEM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

개요

소개

본 작업의 목적은 노스다코타 대학교 그랜드 포크스에 위치한 Thermo Fisher Scientific Talos F200X용 진동 제어 시스템 MB 3000을 설치하는 것입니다. Thermo Fisher Scientific은 VEC에 현장 맞춤 튜닝 설치 및 완료 작업 보고서 작성을 의뢰했습니다.

결과 요약

결과 요약은 다음과 같습니다:

- MB3000 ON 상태에서 진동 사양 충족

제품 상세

납품 부품	시리얼 넘버	소프트웨어
MB3000	221104R3	현장 맞춤 튜닝

작업 요약

시스템 설치 방법

- 현미경 아래에 MB3000 배치

시스템 테스트 방법

- 현장 맞춤 튜닝 생성 및 업로드

- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집

시스템 최종 상태

- 위치에 배치 및 전원 켜짐

절차

진동

VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200 Hz 대역폭에서 um/s (RMS) 단위로 수행되었습니다. 200 Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.

설정

진동
대역폭	200
라인	1600
윈도우	Hanning
커플링	ICP 2mA
평균 유형	Stable
지속 시간	60
공학 단위	um/s (RMS)

진동

VEC는 3개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 Hz 대역폭에서 um/s 단위로 수행되었습니다. Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.

설정

납품 부품
대역폭	Hz
지속 시간	초
공학 단위	um/s

사양

VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.

사양 요약

장비	사양
Thermo Fisher Scientific Talos F200X	진동 X & Y: VC-F 1.56 um/s 1Hz - 100Hz Z: VC-E 3.12 um/s 1Hz - 100Hz

상세 사양

그림 1

: Thermo Fisher Scientific Talos F200X – 진동 사양

5.4.1 시스템 인클로저의 VC 곡선

시스템	수직	좌우	전후
Talos F200X,S; TEM 정보 한계 0.12nm	E	F	F
Talos F200X,S; STEM 해상도 0.16nm	E	F	F
Talos F200C; TEM 정보 한계 0.15nm	E	F	F
Talos F200C; STEM 해상도 0.20nm	E	F	F

Thermo Fisher Scientific Talos F200X – 1 진동 사양; 일반적으로 VC-F를 달성해야 합니다.

그림 1: Thermo Fisher Scientific Talos F200X – 진동 사양

진동 기준:

기준	설명
VC-E	• 바닥 ≥ 700 kg/m², 두께 > 29 cm • 작은 스팬의 견고한 지지 구조 또는 중량 기초판 • VC-E 구역은 별도 기초, 잔여 건물과 신축 이음으로 분리 • 기술실, 엘리베이터, 계단 및 통행 구역은 신축 이음 VC-E 구역 외부에 배치 • 신축 이음 위치에서 채널과 파이프를 분리하여 진동 전달 방지. VC-E 구역 내 진동원 없음 • 기술실은 거리를 두고, VC-E 구역 외부에서 진동원 격리 • VC-E 구역은 1층 또는 지상층에 배치
VC-F	• 바닥 ≥ 1,000 kg/m², 두께 > 58 cm, 중량 기초판 • VC-F 구역은 별도 기초, 잔여 건물과 신축 이음으로 분리 • 기술실, 엘리베이터, 계단 및 통행 구역은 신축 이음 VC-F 구역 외부에 배치 • 신축 이음 위치에서 채널과 파이프를 분리하여 진동 전달 방지 • VC-F 구역 내 진동원 없음 • 기술실은 거리를 두고, VC-F 구역 외부에서 진동원 격리 • VC-F 구역은 지상층에 배치

기준

설명

VC-E

• 바닥 ≥ 700 kg/m², 두께 > 29 cm
• 작은 스팬의 견고한 지지 구조 또는 중량 기초판
• VC-E 구역은 별도 기초, 잔여 건물과 신축 이음으로 분리
• 기술실, 엘리베이터, 계단 및 통행 구역은 신축 이음 VC-E 구역 외부에 배치
• 신축 이음 위치에서 채널과 파이프를 분리하여 진동 전달 방지. VC-E 구역 내 진동원 없음
• 기술실은 거리를 두고, VC-E 구역 외부에서 진동원 격리
• VC-E 구역은 1층 또는 지상층에 배치

VC-F

• 바닥 ≥ 1,000 kg/m², 두께 > 58 cm, 중량 기초판
• VC-F 구역은 별도 기초, 잔여 건물과 신축 이음으로 분리
• 기술실, 엘리베이터, 계단 및 통행 구역은 신축 이음 VC-F 구역 외부에 배치
• 신축 이음 위치에서 채널과 파이프를 분리하여 진동 전달 방지
• VC-F 구역 내 진동원 없음
• 기술실은 거리를 두고, VC-F 구역 외부에서 진동원 격리
• VC-F 구역은 지상층에 배치

결과

결과 요약

결과 요약은 다음과 같습니다:

- MB3000 통과 진동 사양 충족

상세 결과

유형	위치	방향	사양	측정값	결과
진동	바닥	X축 (VC-F)	1.56 um/s 1Hz - 100Hz	1 um/s @ 63 Hz	통과
		Y축 (VC-F)	1.56 um/s 1Hz - 100Hz	0.515 um/s @ 63 Hz	통과
		Z축 (VC-E)	3.12 um/s 1Hz - 100Hz	3 um/s @ 63 Hz	통과
	제진대	X축 (VC-F)	1.56 um/s 1Hz - 100Hz	0.08 um/s @ 63 Hz	통과
		Y축 (VC-F)	1.56 um/s 1Hz - 100Hz	0.107 um/s @ 3 Hz	통과
		Z축 (VC-E)	3.12 um/s 1Hz - 100Hz	0.133 um/s @ 32 Hz	통과

데이터