설치 보고서

DVIA-M Series

06-11-2024

Thermo Fisher Scientific Glacios 2 Cryo-TEM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

요약

소개

본 작업의 목적은 Pfizer에서 Thermo Fisher Scientific Glacios 2를 위한 진동 제진 MB 3000 시스템을 설치하는 것입니다. Thermo Fisher Scientific은 VEC에 Daeil MB-3000 진동 진동 제어 플랫폼 설치 및 완료 보고서 작성을 의뢰했습니다.

결과 요약

아래는 결과 요약입니다:

DVIA-MB3000 진동 사양 충족

소개

제품 상세

납품 부품	일련번호	소프트웨어
MB3000	230518R1	현장 맞춤 튜닝

작업 요약

설치 작업

- 현미경 아래에 모듈형 플랫폼 배치

테스트 작업

- 현장 맞춤 튜닝 생성 및 업로드

- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집

최종 상태

- 시스템 정위치 및 전원 켜짐 상태로 유지

절차

진동

VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200 대역폭에서 um/s (RMS) 단위로 수행되었습니다. 200 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.

설정

진동
대역폭	200
라인	1600
윈도우	해닝
커플링	ICP 2mA
평균 유형	안정
지속시간	60
공학 단위	um/s (RMS)

사양

VEC는 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.

사양 요약

장비	사양
Thermo Fisher Scientific Glacios 2	진동 VC-F X & Y 1.56 um/s 1Hz - 100Hz VC-E Z 3.12 um/s 1Hz - 100Hz

상세 사양

그림 1: Thermo Fisher Scientific Glacios 2 – 1 진동 사양

시스템	수직	좌우	전후
Glacios; TEM 정보 한계 0.23 nm	E	F	F
Glacios; STEM 해상도 0.23 nm	E	F	F

결과

결과 요약

아래는 결과 요약입니다:

MB3000 진동 사양 충족

상세 결과

유형	위치	방향	사양	측정값	결과
진동	바닥	X축	VC-F	VC-G	통과
		Y축	VC-F	VC-G	통과
		Z축	VC-E	VC-D	통과
	제진대	X축	VC-F	VC-G	통과
		Y축	VC-F	VC-G	통과
		Z축	VC-E	VC-G	통과

데이터