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설치 보고서
DVIA-M Series
06-11-2024

Thermo Fisher Scientific Scios 2 DualBeam – FIB SEM DVIA-MB1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

목차

소개

본 보고서는 캘리포니아주 알라메다 2450 Mariner Square Loop, Lab 123에 위치한 Thermo Fisher Scientific Scios 2용 MB1000 설치에 대한 상세 내용을 제공합니다. Sila Nanotechnologies는 VEC에 진동 제어 시스템 설치 및 완료 보고서 작성을 의뢰했습니다.

요약

아래는 결과 요약입니다:

MB1000 ON 통과 진동 사양 충족

제품 상세

납품 부품일련번호소프트웨어
MB1000240213R2현장 맞춤 튜닝

작업 요약

설치 작업

- 현미경 아래에 모듈형 플랫폼 배치
- 모듈형 플랫폼을 0.5mm 이내로 수평 조정
- 바닥과 모듈형 플랫폼 간 지진 제한 장치 부착

테스트 작업

- 현장 맞춤 튜닝 생성 및 업로드
- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집

최종 상태

- 시스템 정위치 및 전원 켜짐 상태로 유지

절차

진동

VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200 대역폭에서 g (RMS) 단위로 수행되었습니다. 200 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.

설정

진동
대역폭200
라인3200
윈도우해닝
커플링ICP 2mA
평균 유형안정
지속시간60
공학 단위um/s (RMS)

사양

VEC는 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.

사양 요약

장비사양
Thermo Fisher Scientific Scios 2진동: 모든 방향 SE-tool™ Spec Line

상세 사양

#유형주파수현재 진폭권장 진폭감쇠 계수
1바닥 수직2 Hz7.30.5813
2바닥 수직3.15 Hz6.40.6210
3바닥 수직2.5 Hz5.90.609.9
4바닥 수직4 Hz7.71.26.3
5바닥 좌우1.25 Hz1.10.234.7
6바닥 좌우1 Hz0.840.184.6
7음향315 Hz48 dB37 dB3.7
8음향630 Hz45 dB34 dB3.5
9음향200 Hz45 dB35 dB3.4
10바닥 수직1.6 Hz1.90.563.3
11음향125 Hz55 dB46 dB2.9
12바닥 수직5 Hz6.82.52.8
13음향500 Hz44 dB35 dB2.8
14음향160 Hz53 dB45 dB2.4
15바닥 수직6.3 Hz7.83.92.0
16음향80 Hz55 dB49 dB1.9
17음향1000 Hz42 dB38 dB1.7
18바닥 좌우0.8 Hz0.530.311.7
19음향100 Hz56 dB51 dB1.7
20음향800 Hz42 dB38 dB1.6
21바닥 좌우1.6 Hz1.10.681.6
22음향400 Hz43 dB39 dB1.5
23바닥 좌우0.63 Hz0.420.321.3
24바닥 수직8 Hz9.17.01.3
25바닥 수직1.25 Hz0.600.521.2
26바닥 좌우2.5 Hz2.21.91.2
27바닥 좌우2 Hz1.31.21.1
28음향250 Hz39 dB38 dB1.1
29바닥 좌우0.5 Hz0.330.321.0

결과

결과 요약

아래는 결과 요약입니다:
DVIA-MB1000 진동 사양 충족

상세 결과

유형위치방향사양결과
진동바닥수직SE-tool™ Spec Line실패
전후SE-tool™ Spec Line실패
좌우SE-tool™ Spec Line실패
DVIA-MB1000수직SE-tool™ Spec Line통과
전후SE-tool™ Spec Line통과
좌우SE-tool™ Spec Line통과

데이터

그림 1: 진동 (수직 – 바닥)

그림 2: 진동 (수직 – MB1000)

그림 3: 진동 (전후 – 바닥)

그림 4: 진동 (전후 – MB1000)

그림 5: 진동 (좌우 – 바닥)

그림 6: 진동 (좌우 – MB1000)

그림 7: 최종 결과

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-11-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

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