Tier-1 Semiconductor DVIA-U850 (230724R1) service report — Cheonan facility
목차
개요
아이앤아이(수원)에서 Tier-1 Semiconductor 천안 사업장으로 이전 설치된 DVIA-U850 장비의 Left to Right, Front to Back 방향 5Hz ~ 6Hz 이상 진동 현상의 해결을 요청받아 방문했습니다. 10월 8일 방문 시 5Hz ~ 6Hz 이상 진동 현상은 발견되지 않았지만, 20Hz 대역 바닥 진동 및 성능 저하가 측정되어 이를 해결하기 위해 10월 25일 방문했습니다. 제진대 상판에 영향을 주는 케이블들의 장력을 완화시키고 제진대 상부의 Fan을 끈 경우 20Hz 진동이 감소함을 확인했습니다.
고객사의 추가 요청으로, Settling time과 Main 장비 구동 조건에서의 진동 측정을 진행했습니다.
진동 측정 결과를 VC-Curve에 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
엔지니어
대일시스템 김대현 부장, 정성윤 사원
측정 날짜
2024년 10월 25일
측정 장소
Tier-1 Semiconductor 천안 1공장 5층 Line
진동 측정 장비
10.1) Data Physics — Hardware: QUATTRO DP240 / Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer — PCB Accelerometer Model 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s2
장비 진동 스펙
VC-C (또는 VC 등급 2 레벨 감소)
결론
8.1) 이슈 10월 8일 방문 시, 스테이지 정지 조건에서 20Hz 대역 바닥 진동과 성능 저하 및 진동 스펙 불만족 현상을 보였습니다. 추가적으로 Align/PBI/BLT 모드(0.05G/0.2G 짧은 Stroke)에서의 Settling Time 및 Main 장비 구동 진동 측정을 요청받았습니다.
8.2) 원인 분석/조치 사항 제진대 상부 Fan에서 진동 기여가 컸고 Fan off 및 케이블 타이 제거 후 진동 전달률 측정으로 제진대 정상 작동을 확인했습니다. 수원 조건 비교 및 고객 담당 범위에 따른 추가 차단 공사 미시행까지 원문과 동일합니다.
측정 결과 요약
### 9.1. 제진 성능 (제진대 Active On)
| 조건 | 측정 위치 | 측정 방향 | 진동 Spec | 측정값 | 스펙 만족 여부 |
|---|---|---|---|---|---|
| Main-machine Off, Fan On, 타이 미제거 | DVIA-U850 | Vertical (Z) | VC-C | VC-D | ✓ PASS |
| DVIA-U850 | Left to right (X) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| DVIA-U850 | Front to back (Y) | VC-C | N/A | ✓ PASS | |
| Floor | Vertical (Z) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Left to right (X) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Front to back (Y) | VC-C | N/A | ✓ PASS | |
| Main-machine Off, Fan Off, 타이 제거 | DVIA-U850 | Vertical (Z) | VC-C | VC-D | ✓ PASS |
| DVIA-U850 | Left to right (X) | VC-E @ >2Hz / VC-B @ <2Hz | 곡선 | ✓ PASS / ✗ FAIL | |
| DVIA-U850 | Front to back (Y) | VC-E @ >2Hz / VC-C @ <2Hz | 곡선 | ✓ PASS / ✓ PASS | |
| Floor | Vertical (Z) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Left to right (X) | VC-C | N/A | ✓ PASS | |
| Floor | Front to back (Y) | VC-C | N/A | ✓ PASS | |
| Main-machine On, Fan Off, 타이 제거 | DVIA-U850 | Vertical (Z) | VC-C | VC-D | ✓ PASS |
| DVIA-U850 | Left to right (X) | VC-D @ >2Hz / VC-B @ <2Hz | 곡선 | ✓ PASS / ✗ FAIL | |
| DVIA-U850 | Front to back (Y) | VC-C @ >2Hz / VC-B @ <2Hz | 곡선 | ✓ PASS / ✗ FAIL | |
| Floor | Vertical (Z) | VC-A | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Left to right (X) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Front to back (Y) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| 이전 설치 전(수원), 장비 Turned Off | DVIA-U850 | Vertical (Z) | VC-C | VC-E | ✓ PASS |
| DVIA-U850 | Left to right (X) | N/A | VC-F | ✓ PASS | |
| DVIA-U850 | Front to back (Y) | N/A | VC-F | ✓ PASS | |
| Floor | Vertical (Z) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Left to right (X) | VC-B | N/A | ✗ FAIL | |
| Floor | Front to back (Y) | VC-B | N/A | ✗ FAIL |
### 9.2. Settling time
원문 표의 회차별 초·PASS/FAIL과 '-' 필드는 데이터&이미지 플롯과 함께 확인하십시오.
데이터&이미지
10.1. 제진 성능 (제진대 Active On)
조건: Main-machine Off, 제진대 상부 Fan On, 케이블 타이 미제거
Vertical (Z) (1/3)
Vertical (Z) (2/3)
Vertical (Z) (3/3)
Left to right (X) (1/3)
Left to right (X) (2/3)
Left to right (X) (3/3)
Front to back (Y) (1/3)
Front to back (Y) (2/3)
Front to back (Y) (3/3)
조건: Main-machine Off, 제진대 상부 Fan Off, 케이블 타이 제거
Vertical (Z) (1/4)
Vertical (Z) (2/4)
Vertical (Z) (3/4)
Vertical (Z) (4/4)
Left to right (X) (1/5)
Left to right (X) (2/5)
Left to right (X) (3/5)
Left to right (X) (4/5)
Left to right (X) (5/5)
Front to back (Y) (1/3)
Front to back (Y) (2/3)
Front to back (Y) (3/3)
조건: Main-machine On, 제진대 상부 Fan Off, 케이블 타이 제거
Vertical (Z) (1/3)
Vertical (Z) (2/3)
Vertical (Z) (3/3)
Left to right (X) (1/3)
Left to right (X) (2/3)
Left to right (X) (3/3)
Front to back (Y) (1/3)
Front to back (Y) (2/3)
Front to back (Y) (3/3)
조건: 이전 설치 전 (수원), 고객사 장비 Turned Off
VC-curve (1/3)
VC-curve (2/3)
VC-curve (3/3)
Transmissibility
10.2. Settling time
조건: Align, 0.05 G, 측정 방향 Y
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: Align, 0.2 G, 측정 방향 Y
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: PBI, 0.05 G — 측정 방향 Y
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: PBI, 0.05 G — 측정 방향 Z
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: PBI, 0.2 G — 측정 방향 Y
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: PBI, 0.2 G — 측정 방향 Z
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
조건: BLT, 0.05 G — 측정 방향 Z
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: BLT, 0.05 G — 측정 방향 X
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: BLT, 0.2 G — 측정 방향 Z
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
조건: BLT, 0.2 G — 측정 방향 X
[1회차] (1/2)
[1회차] (2/2)
[2회차] (1/2)
[2회차] (2/2)
[3회차] (1/2)
[3회차] (2/2)
참고 자료
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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