Tier-1 Semiconductor Icheon Hitachi FE SEM DVIA-UB1000 Installation Report
목차
준비 대상
Tier-1 Semiconductor
작성 정보
Engineer: Seounghoon Cheon
Tuning date: 22.11.29
Report written date: 22.11.30
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
시스템 정보
모델: DVIA-UB1000
시리얼 번호: 180305R3
엔지니어
Seounghoon Cheon, from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
November 29, 2022
설치 위치
Tier-1 Semiconductor, icheon-si
장비
Hitachi FE SEM Equipment
측정 장비
7.1) Data Physics
Hardware: Quattro, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
7.2) Measurement Setting
-Bandwidth: 0 – 80 Hz
-Lines: 800
-Window: Hanning
-Averaging: FFT Spectrum Averaging
-Engineering Units: m/s^2
7.3) Sensor
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 12.5-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 12.5-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | C | B | C | B | C | B |
| Active | F | E | E | E | E | E |
데이터 및 이미지 (장비 전원 꺼짐)
바닥 Z축(수직) VC 곡선
액티브 Z축(수직) VC 곡선
Z축(수직) 전달률
바닥 X축(좌우) VC 곡선
액티브 X축(좌우) VC 곡선
X축(좌우) 전달률
바닥 Y축(전후) VC 곡선
액티브 Y축(전후) VC 곡선
Y축(전후) 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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