설치 보고서

DVIA-ULF Series

09-14-2022

Tier-1 Semiconductor Hitachi FE SEM DVIA-UB1000 (180305R3) Installation Report — Icheon

DVIA-U Series

Installation Report

Tier-1 Semiconductor

Icheon

Hitachi

FE SEM

DVIA-UB1000

180305R3

Prepared by

Engineer	Seounghoon Cheon
Tuning date	22.09.07
Report written date	22.09.14
Date of business trip	17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-UB1000(1140x910x224H)

Serial Number: 180305R3

엔지니어

Seounghoon Cheon, from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

September 07, 2022

설치 위치

Tier-1 Semiconductor, icheon-si

장비

Hitachi FE SEM Equipment

측정 장비

7.1) Data Physics

Hardware: Quattro, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

7.2) Measurement Setting

-Bandwidth: 0 – 80 Hz

-Lines: 800

-Window: Hanning

-Averaging: FFT Spectrum Averaging

-Engineering Units: m/s^2

7.3) Sensor

PCB Accelerometer

Model: 393B05

측정 결과 요약

Measurement Point	Z-axis (Vertical)<br>1–10 Hz	Z-axis (Vertical)<br>12.5–80 Hz	X-axis (Left to Right)<br>1–10 Hz	X-axis (Left to Right)<br>12.5–80 Hz	Y-axis (Front to Back)<br>1–10 Hz	Y-axis (Front to Back)<br>10–80 Hz
Floor	D	D	C	D	D	B
Active	F	E	E	F	E	F

데이터 및 이미지 (장비 전원 꺼짐)

Floor Z-axis (Vertical) VC curves

Top Z-axis (Vertical) VC curves

Z-axis (Vertical) Transmissibility

Floor X-axis (Left to Right) VC curves

Top X-axis (Left to Right) VC curves

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Floor Y-axis (Front to Back) VC curves

Top Y-axis (Front to Back) VC curves

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참고자료

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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