Thermo Fisher Scientific Glacios 2 with Selectris Cryo-TEM DVIA-MB3000 Installation Report
목차
Summary Results
결과 요약:
DVIA-MB3000이 진동 사양을 통과했습니다.
본 보고서는 Room 211B에 설치된 Thermo Fisher Scientific Glacios 2 with Selectris용 진동 제어 시스템 MB3000의 설치 내용을 상세히 기술합니다. Schrodinger는 VEC에 액티브 진동 제어 플랫폼 설치 및 완료 보고서 작성을 의뢰했습니다.
Product Details
| 납품 부품 | 시리얼 넘버 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| MB3000 | 230418R3 | 현장 맞춤 튜닝 |
Summary of Work
시스템 설치 작업
시스템 테스트 작업
시스템 최종 상태
Installer's Notes
바닥 진동이 이전 측정(2023년 2월 VEC [Jarrett])보다 더 크게 나타났습니다.
그러나 시스템은 잘 작동하고 있으며, 진동 권고 테이블의 권장 진폭을 충분한 마진으로 충족하고 있습니다.
수직 진동이 사양을 통과했습니다.
전후 진동이 사양을 통과했습니다.
좌우 진동이 사양을 통과했습니다.
Procedures
진동
Setup
| 진동 | |
|---|---|
| 대역폭 | 200 |
| 라인 | 3200 |
| 윈도우 | Hanning |
| 커플링 | ICP 2mA |
| 평균 유형 | Stable |
| 측정 시간 | 60 |
| 공학 단위 | um/s (RMS) |
Specifications
VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 적용했습니다.
사양 요약
그림 1: TFS 바닥 진동 권고 테이블
| Survey | Frequency | Direction | Peak RMS (Ug) | Advised RMS (Ug) | Red. factor | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 2022-10-28 04-36-41 | 1 | FB | 139 | 0.31 | 447 |
| 2 | 2022-10-28 06-36-41 | 1.25 | FB | 152 | 0.47 | 326 |
| 3 | 2022-10-28 06-28-17 | 1 | LR | 147 | 0.95 | 155 |
| 4 | 2022-10-28 06-28-17 | 1.25 | LR | 151 | 1.2 | 129 |
| 5 | 2022-10-27 12-12-12 | 1.6 | FB | 102 | 1.1 | 97 |
| 6 | 2022-10-27 12-28-54 | 1 | V | 497 | 8.6 | 57 |
| 7 | 2022-10-27 12-12-12 | 2 | V | 481 | 9 | 53 |
| 8 | 2022-10-28 06-28-17 | 1.6 | LR | 83 | 1.6 | 52 |
| 9 | 2022-10-28 06-36-41 | 2 | FB | 114 | 2.7 | 42 |
| 10 | 2022-10-27 12-12-12 | 1.6 | V | 347 | 8.5 | 41 |
| 11 | 2022-10-27 12-28-54 | 1.25 | V | 411 | 12 | 34 |
| 12 | 2022-10-27 12-12-12 | 2.5 | V | 320 | 9.8 | 33 |
| 13 | 2022-10-28 06-28-17 | 2 | LR | 107 | 4.3 | 25 |
| 14 | 2022-10-27 12-12-12 | 3.15 | V | 338 | 16 | 21 |
| 15 | 2022-10-27 12-12-12 | 4 | V | 423 | 20 | 21 |
| 16 | 2022-10-28 07-30-58 | 2.5 | LR | 86 | 4.3 | 20 |
| 17 | 2022-10-27 12-12-12 | 2.5 | FB | 91 | 4.6 | 20 |
| 18 | 2022-10-27 12-12-12 | 5 | V | 342 | 25 | 14 |
| 19 | 2022-10-27 12-12-12 | 3.15 | FB | 74 | 9.1 | 8.1 |
| 20 | 2022-10-27 12-12-12 | 6.3 | V | 425 | 65 | 6.6 |
| 21 | 2022-10-27 12-12-12 | 4 | FB | 110 | 18 | 6 |
Results
결과 요약
상세 결과
| 유형 | 위치 | 방향 | 사양 | 측정 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 진동 | 바닥 | 수직 | 테이블 참조 | Line | 통과 |
| 전후 | Line | 통과 | |||
| 좌우 | Line | 통과 | |||
| MB3000 | 수직 | 테이블 참조 | Line | 통과 | |
| 전후 | Line | 통과 | |||
| 좌우 | Line | 통과 |
Data
Room 211B - Thermo Fisher Scientific Glacios 2 with Selectris
진동
그림 2: 진동 (수직 – TFS 사양)
그림 3: 진동 (수직 – 전달률)
그림 4: 진동 (수직 – 바닥)
그림 5: 진동 (수직 – MB3000)
그림 6: 진동 (전후 – TFS 사양)
그림 7: 진동 (전후 – 전달률)
그림 8: 진동 (전후 – 바닥)
그림 9: 진동 (전후 – MB3000)
그림 10: 진동 (좌우 – TFS 사양)
그림 11: 진동 (좌우 – 전달률)
그림 12: 진동 (좌우 – 바닥)
그림 13: 진동 (좌우 – MB3000)
그림 14: 설치 상세 1
그림 15: 설치 상세 2
Reference
Generic Vibration Criteria
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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