본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
06-11-2024

Thermo Fisher Scientific Glacios 2 Cryo-TEM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

목차

Summary of Work

패시브 시스템을 재튜닝하고 성능을 검증했습니다.

DVIA-MB3000을 설치 위치에 배치하고 전원을 켰습니다.

Location Information

Daeil DVIA-MB3000 시스템은 0B 110 룸에 설치되었습니다.

System Information

납품 부품시리얼 넘버소프트웨어설치 완료
Daeil DVIA-MB3000201012R5현장 맞춤 튜닝완료

Vibration Criterion

VEC는 각 16초 동안 6회의 진동 측정 조사를 수행했습니다. 이 테스트는 슬래브 바닥과 DVIA-MB3000 위에서 한 방향으로 진행되었습니다.

Conclusions

Daeil DVIA-MB3000 액티브 진동 제어 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다. 현미경 설치 후 시스템의 공진 주파수가 변경되어 100 Hz에서 관찰되던 스파이크가 감소했습니다. 현미경에 사용되는 많은 케이블과 호스가 "플로팅 월드"와 지면을 연결하여 8~60 Hz 사이의 진동이 예상대로 상승했지만, VC-G를 초과하지는 않았습니다. 아래에 이전 테스트와 이번 테스트의 그래프를 첨부합니다.

Images and Data

Image 1: Equipment Picture

Figure 1: Vertical Floor

Figure 2: Vertical Daeil DVIA-MB3000

Figure 3: Vertical Transmissibility

Figure 4: 2nd Visit Vertical Floor

Figure 5: 2nd Visit Vertical Daeil DVIA-MB3000

Figure 6: 2nd Visit Vertical Transmissibility

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-11-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

관련 케이스 스터디

YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 Installation Report
DVIA-M Series

YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 Installation Report

07-15-2026자세히
YDRICQS Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
DVIA-M Series

YDRICQS Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

07-06-2026자세히
BIEL Crystal Thermo Fisher Scientific Helios 5 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
DVIA-M Series

BIEL Crystal Thermo Fisher Scientific Helios 5 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

07-04-2026자세히