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설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-15-2026

KIST Olympus BX 51 DVIA-UD350 Installation Report

DVIA-U Series
Installation Report
KIST
Olympus BX 51

개요

한국과학기술연구원 L7222호에설치된 DVIA-U350 점검 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-UD350

시리얼 넘버: 221004R4

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

설치 날짜

2026년 4월 14일

보고서 작성일

2026년 4월 15일

설치 장소

한국과학기술연구원 L7222호

End User

한국과학기술연구원

고객사 장비

Manufacturer: Olympus

Equipment: Microscope

Model: BX 51

장비 스펙

N/A

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

현장 점검 당시 DVIA-UD350 오작동이 확인되지 않았습니다.

문제 재발 여부를 확인하기 위해 약 1시간 정도 현장에서 대기하였으나 재발하지 않았습니다.

별도의 부품 교체는 진행하지 않았으며, UI점검 및 진동 측정 결과 DVIA-UD350 정상 작동중임을 확인하였습니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-UD350
한국과학기술연구원 L7222
1. 바닥진동
2. DVIA-UB350
Turned on/IDLEVerticalVC-C @ 16 HzVC-G @ 16 Hz
Left to RightVC-E @ 63 HzVC-G @ 63 Hz
Front to BackVC-E @ 63 HzVC-G @ 63 Hz

데이터 및 이미지

14-1 UI 이미지

Horizontal Sensor

Figure 1 X-axis sensor

Vertical Sensor

Figure 3. Z-axis sensor 1

VCM Output

Figure 5. Vertical VCM Output

14-2 데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

설치사진

참조

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
작업장 (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
사무실 (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
주거 지역 (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
수술실 (ISO)진동이 감지되지 않음. 수술실 및 최대 약 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A광학 현미경(최대 약 400배), 마이크로밸런스 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B검사·리소그래피 장비(선폭 최대 약 3μm)에 적합.25 (1,000)3
VC-C광학 현미경(최대 약 1000배), 리소그래피 장비(선폭 최대 약 1μm)에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-15-2026
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DVIA-U Series
Installation Report
KIST
Olympus BX 51