설치 보고서

DVIA-ULF Series

01-12-2023

KIST Olympus IX51 DVIA-UD350-1008M Installation Report

DVIA-U Series

Installation Report

KIST

Olympus IX51

개요

DVIA-UD350 능동형 진동 절연 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

진동 절연 시스템 정보

모델: DVIA-UD350-1008M-50t-750H

시리얼 번호: 221004R1

엔지니어

DAEIL SYSTEMS Seounghoon Cheon

튜닝 날짜

2023년 1월 3일

보고서 작성일

2023년 1월 12일

출장 기간

17.12.27~17.12.29

최종 사용자

KIST (SEOUL)

위치

KIST, SEOUL

장비

올림푸스 IX51 현미경

측정 장치

7.1) Data Physics

Hardware: Quattro, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

7.2) Measurement Setting

Bandwidth: 0 – 80 Hz

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s^2

7.3) Sensor

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 결과 요약

측정 지점	Z축 (수직) 1-10 Hz	Z축 (수직) 12.5-80 Hz	X축 (좌우) 1-10 Hz	X축 (좌우) 12.5-80 Hz	Y축 (전후) 1-10 Hz	Y축 (전후) 10-80 Hz
Floor	F	B	G	E	G	E
Active	G	E	G	G	G	G

데이터 및 이미지 (장비 전원 꺼짐)

바닥 Z축(수직) VC 곡선

상부 Z축(수직) VC 곡선

Z축(수직) 전달률

바닥 X축(좌우) VC 곡선

상부 X축(좌우) VC 곡선

X축(좌우) 전달률

바닥 Y축(전후) VC 곡선

상부 Y축(전후) VC 곡선

Y축(전후) 전달률

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
작업장 (ISO)	명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	해당 없음
사무실 (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	해당 없음
주거 지역 (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
수술실 (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	해당 없음
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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