설치 보고서

DVIA-ULF Series

07-29-2024

Hitachi SU8240(Room 1C06-01) DVIA-U350 Installation Report

DVIA-U Series

Installation Report

Hitachi

소개

본 보고서는 캘리포니아주 서니베일, 974 East Arques Avenue, Building 81, 1C06-01에 위치한 Hitachi SU8240용 U350 설치에 대한 상세 내용을 제공합니다. Applied Materials는 VEC에 진동 제어 시스템 설치 및 완료 작업 보고서 작성을 의뢰했습니다.

요약

결과 요약은 다음과 같습니다:

DVIA-U350 진동 사양 충족

제품 상세

납품 부품	시리얼 넘버	소프트웨어
U350	240614R2-2	-

작업 요약

시스템 설치 방법

- 현미경 아래에 대일 장비 배치

시스템 테스트 방법

- 현장 맞춤 튜닝

- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집

시스템 최종 상태

- 위치에 배치 및 전원 켜짐

절차

진동

VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200Hz 대역폭에서 um(Pk-Pk) 단위로 수행되었습니다. 200Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.

설정

진동
대역폭	200Hz
라인	3200
윈도우	Hanning
커플링	AC SE
평균 유형	Stable
지속 시간	60초
공학 단위	um (Pk-Pk)

사양

VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.

사양 요약

장비	사양
Hitachi SU8240	진동: 모든 방향 VC-D

결과

결과 요약

결과 요약은 다음과 같습니다:

U350 진동 사양 충족

상세 결과

유형	위치	방향	사양	측정값	결과
진동	바닥	수직	VC-D	VC-C	실패
		좌우	VC-D	VC-F	통과
		전후	VC-D	VC-F	통과
	U 350	수직	VC-D	VC-E	통과
		좌우	VC-D	VC-F	통과
		전후	VC-D	VC-E	통과

데이터

그림 1: 진동 (수직 – 바닥)

그림 2: 진동 (수직 – U 350)

그림 3: 진동 (수직 – 전달률)

그림 4: 진동 (좌우 – 바닥)

그림 5: 진동 (좌우 – U 350)

그림 6: 진동 (좌우 – 전달률)

그림 7: 진동 (전후 – 바닥)

그림 8: 진동 (전후 – U 350)

그림 9: 진동 (전후 – 전달률)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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