설치 보고서
DVIA-ULF Series
06-27-2024
Hitachi Regulus 8230 DVIA-U350 Installation Report
DVIA-U Series
Installation Report
Hitachi
목차
개요
본 보고서는 974 East Arques Avenue, Building 81, 1Q14-01 (Sunnyvale, CA 94085)에 설치된 Hitachi Regulus 8230용 U350의 설치 상세 내용을 담고 있습니다. Applied Materials는 VEC에 제진 시스템 설치와 완료 작업 보고서 작성을 의뢰하였습니다.
요약
결과 요약은 다음과 같습니다.
U350 ON 상태에서 진동 사양을 통과(PASSED)하였습니다.
제품 정보
| 납품 제품 | 시리얼 넘버 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| U350 | 240614R2-4 | - |
작업 요약
시스템 설치
- 현미경 하부에 모듈형 플랫폼 배치
시스템 시험
- 설치 현장에 맞는 튜닝 값 생성 및 업로드
- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집
작업 완료 상태
- 정위치 설치 및 전원 ON 상태 유지
절차
진동
VEC는 6개 방향에 대해 진동 측정을 수행하였습니다. 가속도 측정은 200Hz 대역폭에서 um (Pk-Pk) 단위로 진행하였으며, 200Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼을 기록하였습니다.
Setup
| 진동 | |
|---|---|
| Bandwidth | 200Hz |
| Lines | 3200 |
| Window | Hanning |
| Coupling | AC SE |
| Average Type | Stable |
| Duration | 60초 |
| Engineering Units | um (Pk-Pk) |
사양
VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 적용하였습니다.
사양 요약
| 장비 | 사양 |
|---|---|
| Hitachi Regulus 8230 | 진동: 전 방향 VC-D |
결과
요약 결과
결과 요약은 다음과 같습니다.
U350 ON 상태에서 진동 사양을 통과(PASSED)하였습니다.
상세 결과
| 구분 | 측정 지점 | 방향 | 사양 | 측정값 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 진동 | 바닥 | Vertical | VC-D | VC-B | ✗ FAIL |
| Left-Right | VC-D | VC-F | ✓ PASS | ||
| Front-Back | VC-D | VC-G | ✓ PASS | ||
| U 350 | Vertical | VC-D | VC-E | ✓ PASS | |
| Left-Right | VC-D | VC-F | ✓ PASS | ||
| Front-Back | VC-D | VC-E | ✓ PASS |
데이터
Figure 1: 진동 (Vertical – 바닥)
Figure 2: 진동 (Vertical – U 350)
Figure 3: 진동 (Vertical – Transmissibility)
Figure 4: 진동 (Left-Right – 바닥)
Figure 5: 진동 (Left-Right – U 350)
Figure 6: 진동 (Left-Right – Transmissibility)
Figure 7: 진동 (Front-Back – 바닥)
Figure 8: 진동 (Front-Back – U 350)
Figure 9: 진동 (Front-Back – Transmissibility)
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일06-27-2024
태그
DVIA-U Series
Installation Report
Hitachi
