설치 보고서
DVIA-ULF Series
07-29-2024
Hitachi SU8220 DVIA-U350 Installation Report
DVIA-U Series
Installation Report
Hitachi
목차
소개
본 보고서는 캘리포니아주 서니베일, 974 East Arques Avenue, Building 81, 1J17-01에 위치한 Hitachi SU8220용 U350 설치에 대한 상세 내용을 제공합니다. Applied Materials는 VEC에 진동 제어 시스템 설치 및 완료 작업 보고서 작성을 의뢰했습니다.
결과 요약
결과 요약은 다음과 같습니다:
DVIA-U350 진동 사양 충족
제품 상세
| 액티브 진동 제어대 | 시리얼 넘버 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| U350 | 240614R2-3 | - |
작업 요약
시스템 설치 방법
- 현미경 아래에 대일 장비 배치
시스템 테스트 방법
- 현장 맞춤 튜닝 생성 및 업로드
- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집
시스템 최종 상태
- 위치에 배치 및 전원 켜짐
절차
진동
VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200Hz 대역폭에서 um(Pk-Pk) 단위로 수행되었습니다. 200Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.
설정
| 진동 | |
|---|---|
| 대역폭 | 200Hz |
| 라인 | 3200 |
| 윈도우 | Hanning |
| 커플링 | AC SE |
| 평균 유형 | Stable |
| 지속 시간 | 60초 |
| 공학 단위 | um (Pk-Pk) |
사양
VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.
사양 요약
| 장비 | 사양 |
|---|---|
| Hitachi SU8220 | 진동: 모든 방향 VC-D |
결과
결과 요약
결과 요약은 다음과 같습니다:
DVIA-U350 진동 사양 충족
상세 결과
| 유형 | 위치 | 방향 | 사양 | 측정값 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 진동 | 바닥 | 수직 | VC-D | VC-C | 실패 |
| 좌우 | VC-D | VC-F | 통과 | ||
| 전후 | VC-D | VC-F | 통과 | ||
| U350 | 수직 | VC-D | VC-E | 통과 | |
| 좌우 | VC-D | VC-F | 통과 | ||
| 전후 | VC-D | VC-F | 통과 |
데이터
그림 1: 진동 (수직 – 바닥)
그림 2: 진동 (수직 – U 350)
그림 3: 진동 (수직 – 전달률)
그림 4: 진동 (좌우 – 바닥)
그림 5: 진동 (좌우 – U 350)
그림 6: 진동 (좌우 – 전달률)
그림 7: 진동 (전후 – 바닥)
그림 8: 진동 (전후 – U 350)
그림 9: 진동 (전후 – 전달률)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일07-29-2024
태그
DVIA-U Series
Installation Report
Hitachi
