설치 보고서

DVIA-M Series

02-11-2019

Thermofisher Scientific PRISMA E SEM DVIA-MB1000 Installation Report

Installation Report

DVIA-M Series

Thermo Fisher Scientific

1. 측정 세부사항

측정 날짜: 2019년 2월 11일

측정 장비:

LAN-XI 데이터 수집 하드웨어 – Brüel & Kjær 3050-B-040

데이터 분석 소프트웨어 – Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14

센서 – PCB 가속도계 모델: 393B05

측정 위치: 1층

측정 설정:

대역폭: 0 – 100 Hz

라인: 400

윈도우: Hanning

평균: 고속 푸리에 변환 스펙트럼 평균

진폭 단위: m/s²

스펙트럼 단위: RMS

2. 장비 정보

제조사: Thermofisher Scientific

모델: PRISMA E SEM

바닥 진동 사양: 수직 및 수평축에서 VC-E

3. 진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

4. 요약

항목	Z축(수직)	X축(좌우)	Y축(전후)
주파수 범위	1 - 80 Hz	1 - 80 Hz	1 - 80 Hz
바닥 진동 사양	VC-E	VC-E	VC-E
바닥 진동	실패	실패	실패
액티브 진동 제어 위 진동	통과	통과	통과

5. 결과 – 진동 기준 곡선

VC 곡선, Z축(수직)

측정된 수직 바닥 진동은 진동 사양 VC-E를 충족하지 못했습니다. 액티브 진동 제어 시스템이 수직 바닥 진동을 VC-A에서 VC-E로 감소시켰습니다.

VC 곡선, X축(좌우)

측정된 X축 바닥 진동은 바닥 진동 사양 VC-B를 충족하지 못했습니다. 액티브 진동 제어 시스템이 X축 바닥 진동을 VC-B에서 VC-F로 감소시켰습니다.

VC 곡선, Y축(전후)

측정된 Y축 바닥 진동은 바닥 진동 사양 VC-C를 충족하지 못했습니다. 액티브 진동 제어 시스템이 Y축 바닥 진동을 VC-C에서 VC-G로 감소시켰습니다.

6. 결과 – 액티브 진동 제어 끄기 vs 액티브 진동 제어 켜기

HV: 15.00 kV / Mag: 50,000x / 선폭: 1 μm

HV: 15.00 kV / Mag: 50,000x / 선폭: 1 μm

7. 참조

일반 진동 기준

Criterion Curve	Description	Amplitude μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.	100 (4,000)	25
VC-A	Adequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.	50 (2,000)	8
VC-B	Appropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.	25 (1,000)	3
VC-C	Appropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	Suitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	For the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	For extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	For extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.	0.78 (31.25)	N/A

*Notes:*

1. As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).

2. Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일02-11-2019

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Installation Report

DVIA-M Series

Thermo Fisher Scientific

Thermofisher Scientific PRISMA E SEM DVIA-MB1000 Installation Report

1. 측정 세부사항

2. 장비 정보

3. 진동 제어 시스템 정보

4. 요약

5. 결과 – 진동 기준 곡선

VC 곡선, Z축(수직)

VC 곡선, X축(좌우)

VC 곡선, Y축(전후)

6. 결과 – 액티브 진동 제어 끄기 vs 액티브 진동 제어 켜기

7. 참조

일반 진동 기준

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