Thermofisher Scientific Apero 2 SEM DVIA-MB1000 Installation Report
목차
1. 측정 세부사항
측정일: 2017년 9월 5일
측정 장비:
LAN-XI 데이터 수집 하드웨어 – Brüel & Kjær 3050-A-040 (일련번호: 3050-111438)
데이터 분석 소프트웨어 – Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 22
센서 – PCB 가속도계 모델: 393B05 (일련번호: 48995, 40626)
측정 위치: 1층
측정 설정:
대역폭: 0 – 100 Hz
라인: 400
윈도우: Hanning
평균: 고속 푸리에 변환 스펙트럼 평균
진폭 단위: m/s²
스펙트럼 단위: RMS
2. 장비 정보
제조사: Thermofisher Scientific
모델: Apero 2
바닥 진동 사양: VC-F (일반)
진동과 음향으로 인한 방해는 중요한 역할을 합니다. 진동 수준은 적절한 건축 설계와 진동 제어 플랫폼을 결합하여 제한할 수 있습니다.
바닥 진동은 Ungar와 Gordon의 진동 기준(VC) 곡선으로 정의됩니다. VC 수준은 1/3 옥타브 밴드에서 통합된 rms 속도 값으로 정의됩니다. VC 곡선은 지침으로만 사용되어야 하며, 진동에 관한 최종 실내 거동은 FEI의 사이트 평가 도구를 사용하여 훈련받은 FEI 담당자가 수행한 사이트 조사 중에 결정됩니다. 현미경의 목적에 따라 시간 상수가 진동 특성에 관여합니다. VC 곡선 지침은 아래와 같이 해석할 수 있습니다.
표는 특정 방향 및 시스템에 대한 해당 VC 곡선을 나열합니다. 일반적으로 VC-F를 달성해야 합니다.
3. 진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
| 사양 | 값 |
|---|---|
| 플랫폼 치수 | 1140 x 910 x 224 mm |
| 적재 하중 | 500 - 1700 kg |
| 액추에이터 | 전자기 액추에이터 |
| 최대 액추에이터 힘 | 수직: 40N, 수평: 20 N |
| 자유도 | 6자유도 |
| 액티브 진동 제어 범위 | 0.5 - 100 Hz |
| 2 Hz 제진률 | ≥90% |
| 10 Hz 제진률 | ≥99% |
| 입력 전압 | AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A |
| 전력 소비 | 최대 110W, 정상 운전 시 <50 W |
| 운전 온도 | 5 - 50 °C |
| 운전 습도 | 20 - 90% |
| 필요 공기 압력 | ≥ 0.5 MPa (5 bar) |
4. 설치 사진
5. 요약
| 항목 | Z축(수직) | X축(좌우) | Y축(전후) |
|---|---|---|---|
| 주파수 범위 | 1 - 80 Hz | 1 - 80 Hz | 1 - 80 Hz |
| 바닥 진동 사양 | VC-F | VC-F | VC-F |
| 바닥 진동 | 실패 | 실패 | 실패 |
| 액티브 진동 제어 위 진동 | 통과 | 통과 | 통과 |
6. 결과
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
7. 결과 – 제진 이미징 효과
8. 참조
일반 진동 기준
*Notes:*
1. As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).
2. Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 Installation Report
YDRICQS Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
