설치 보고서
DVIA-M Series
09-17-2010
Thermo Fisher Scientific Scios 2 DualBeam FIB SEM DVIA-MB1000 Installation
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
목차
측정 세부사항
| 항목 | 세부사항 |
|---|---|
| 측정일 | 2010년 9월 17일 |
| 측정 위치 | 6층 |
측정 장비
| 장비 | 모델 |
|---|---|
| LAN-XI 데이터 수집 하드웨어 | Brüel & Kjær 3050-B-040 |
| 데이터 분석 소프트웨어 | Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14 |
| 센서 | PCB 가속도계, 모델: 393B05 |
장비 정보
| 항목 | 세부사항 |
|---|---|
| 제조사 | Thermo Fisher |
| 모델 | FIB-SEM Scios 2 |
진동 제어 시스템
DVIA-MB1000
설치 사진
결과
Z축(수직)
| 주파수 범위 | 바닥 진동 | 액티브 진동 제어 위 |
|---|---|---|
| 1 – 10 Hz | VC-B | VC-E |
| 10 – 80 Hz | VC-B | VC-F |
AVI = 액티브 진동 제어
X축(좌우)
| 주파수 범위 | 바닥 진동 | 액티브 진동 제어 위 |
|---|---|---|
| 1 – 10 Hz | VC-D | VC-F |
| 10 – 80 Hz | VC-E | VC-G |
AVI = 액티브 진동 제어
Y축(전후)
| 주파수 범위 | 바닥 진동 | 액티브 진동 제어 위 |
|---|---|---|
| 1 – 10 Hz | VC-D | VC-G |
| 10 – 80 Hz | VC-E | VC-G |
AVI = 액티브 진동 제어
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-17-2010
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
관련 케이스 스터디
DVIA-M Series
YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 Installation Report
07-15-2026자세히
DVIA-M Series
YDRICQS Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
07-06-2026자세히
DVIA-M Series
BIEL Crystal Thermo Fisher Scientific Helios 5 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
07-04-2026자세히