설치 보고서
DVIA-M Series
07-06-2023
Thermo Fisher Scientific Spectra 200 TEM DVIA-MB3000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
목차
요약
소개
본 작업의 목적은 Spectra Room에 설치된 Thermo Fisher Scientific Spectra 200을 위한 진동 제진 MB3000 시스템을 설치하는 것입니다.
결과 요약
아래는 결과 요약입니다:
MB3000 진동 사양 충족
소개
본 작업의 목적은 Spectra Room에 설치된 Thermo Fisher Scientific Spectra 200을 위한 진동 제진 MB3000 시스템을 설치하는 것입니다.
제품 상세
| 납품 부품 | 일련번호 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| MB3000 | 220542R2 | 현장 맞춤 튜닝 |
작업 요약
설치 작업
- DAEIL SYSTEMS DVIA-MB3000 플랫폼을 0.5mm 이내로 수평 조정
- 대일 장비와 장비 간 지진 제한 장치 연결
테스트 작업
- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집
최종 상태
- 시스템 정위치 및 전원 꺼짐 상태로 유지
절차
진동
VEC는 6개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 200 대역폭에서 m/s (RMS) 단위로 수행되었습니다. 200 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.
설정
| 항목 | 값 |
|---|---|
| 대역폭 | 200 |
| 라인 | 3200 |
| 윈도우 | 해닝 |
| 커플링 | ICP 2mA |
| 평균 유형 | 안정 |
| 지속시간 | 60 |
| 공학 단위 | um/s (RMS) |
사양
VEC는 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.
사양 요약
| 장비 | 사양 |
|---|---|
| Thermo Fisher Scientific Spectra 200 | 진동: VC-F, 모든 방향: VC-G |
상세 사양
결과
결과 요약
아래는 결과 요약입니다:
- MB3000 통과 진동 사양 충족
상세 결과
| 유형 | 위치 | 방향 | 사양 | 측정값 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 진동 | 바닥 | Z축 | VC-G | VC-E | 실패 |
| X축 | VC-G | 통과 | |||
| Y축 | VC-F | 실패 | |||
| MB3000 | Z축 | VC-G | 통과 | ||
| X축 | VC-G | 통과 | |||
| Y축 | VC-G | 통과 |
데이터
Spectra Room - Thermo Fisher Scientific Spectra 200
진동
그림 1: Z축 – 바닥
그림 2: Z축 – MB 3000
그림 3: Z축 – 전달률
그림 4: X축 – 바닥
그림 5: X축 – MB 3000
그림 6: X축 – 전달률
그림 7: Y축 – 바닥
그림 8: Y축 – MB 3000
그림 9: Y축 – 전달률
그림 10: 장비 사진
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템에 적합. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
Reference
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-06-2023
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Installation Report
Thermo Fisher Scientific
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