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설치 보고서
DVIA-ULF Series
01-07-2026

DVIA-ULF1000 Huasheng Lianying Vibration Damping Platform Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIDONG

개요

SEM 이미지 품질 문제로 DVIA-ULF1000 모델이 DVIA-ML1000 모델로 교체된 이력이 있습니다.

그러나 DVIA-ML1000을 적용한 이후에도 SEM 이미지 품질은 개선되지 않았고, 원인은 결국 진동 절연대가 아닌 SEM 자체에서 기인한 것으로 결론 났습니다.

이에 따라 DVIA-ULF1000 모델을 다시 설치하고 튜닝을 수행했습니다.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-ULF1000

시리얼 번호: 250813R2

엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 12월 29일

최종 사용자

Huasheng Lianying Vibration Damping Platform

튜닝 시도 횟수

7차

설치 위치

중국 우시

장비 정보

제조사: YIDONG

장비: FE-SEM

모델: YF-1801

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

튜닝 요청

N/A

측정 요약

측정 지점상태측정 데이터
바닥DVIA-ULF1000
1.Floor
2.DVIA-ULF1000
YF-1801 is turned on/IDLE수직VC-E
@ 2.5 Hz
VC-G
@ 2.5 Hz
좌우VC-E
@ 2 Hz
VC-F
@ 2 Hz
전후VC-D
@ 1.6 Hz
VC-G
@ 1.6 Hz

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정됩니다.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

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설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일01-07-2026
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DVIA-ULF Series
Installation Report
YIDONG