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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-09-2025

DVIA-ULF1000 YIMO Huasheng Lianying YF-1801 Installation Report (250813R2, Dec 2025)

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
YIDONG
FE-SEM
Wuxi
250813R2

개요

DVIA-ULF1000 유닛이 장비 하부 프레임 아래에 설치되었을 때 이미지 불안정이 관찰되었습니다. 유닛 간 간격이 충분하지 않아 발생한 문제로 판단했습니다.

이에 따라 유닛을 레벨링 피트 아래로 재배치하고 재튜닝을 수행했습니다. 재배치 이후 DVIA-ULF1000 성능이 개선되었습니다.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-ULF1000

시리얼 번호: 250813R2

엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 12월 08일

최종 사용자

화성련영 제진 플랫폼 (Huasheng Lianying Vibration Damping Platform)

튜닝 횟수

6차 튜닝

설치 위치

중국 우시

장비 정보

제조사: YIDONG

장비: FE-SEM

모델: YF-1801

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

튜닝 요청

N/A

측정 요약

측정 지점상태바닥DVIA-ULF1000
1.Floor
2.DVIA-ULF1000
YF-1801 is turned on/IDLE수직VC-E
@ 25 Hz
VC-G
@ 25 Hz
좌우VC-E
@ 2.5 Hz
VC-G
@ 2.5 Hz
전후VC-D
@ 2.5 Hz
VC-G
@ 2.5 Hz

UI 프로그램 측정 데이터

수직 VC 커브

수직 오토 스펙트럼

수직 전달률

좌우 VC 커브

좌우 오토 스펙트럼

좌우 전달률

전후 VC 커브

전후 오토 스펙트럼

전후 전달률

장비 사진

참조

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)확실히 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지되는 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않음. 대부분의 수면 공간에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배 현미경 등에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학현미경, 마이크로밸런스 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B검사 및 3μm 선폭 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학현미경, 1μm 리소그래피에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고난도 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 난도 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-09-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
YIDONG
FE-SEM
Wuxi
250813R2