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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-09-2025

DVIA-ULF1000 Huasheng Lianying Vibration Damping Platform Installation Report — 5th tuning (Dec 2025)

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIDONG

개요

장비 하부 프레임 아래에 설치된 DVIA-ULF1000 유닛으로 튜닝을 수행했습니다.

장비 영상이 불안정한 문제로 재튜닝을 진행하였습니다.

펌프가 동작하면 약 80 Hz 부근에서 강한 공진 피크가 발생합니다. 성능 향상을 위해서는 펌프 문제를 해결해야 합니다.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-ULF1000

시리얼 번호: 250813R2

엔지니어

대일시스템 이채원

튜닝 일자

2025년 12월 1일

최종 사용자

Huasheng Lianying Vibration Damping Platform

튜닝 횟수

5차

설치 위치

중국 우시

장비 정보

제조사: YIDONG

장비: FE-SEM

모델: YF-1801

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

튜닝 요청

N/A

측정 요약

측정 지점상태측정 데이터
바닥DVIA-ULF1000
1.바닥
2.DVIA-ULF1000
YF-1801 is turned on/IDLE수직VC-E
@ 3.15 Hz
VC-G
@ 3.15 Hz
좌우VC-E
@ 2.5 Hz
VC-F
@ 2.5 Hz
전후VC-F
@ 2.5 Hz
VC-G
@ 2.5 Hz

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 자동 스펙트럼

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 자동 스펙트럼

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 자동 스펙트럼

전후 전달률

장비 사진

참조

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

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설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-09-2025
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DVIA-ULF Series
Installation Report
YIDONG